일반기술

유기물 진공 증착 장치

본 기술은 증착될 유기물을 수용하는 도가니의 교체 시에 도가니의 가열 준비를 위한 시간 손실이 없이 복수의 도가니로부터 연속적으로 유기물을 증발시킬 수 있어서, 유기물 증착 공정의 양산성 및 경제성을 향상시킬 수 있는 유기물 진공 증착장치에 관한 것이다. 종래의 기술은 유기물 진공 증착 장치 및 유기물 증착 방법에서는, 증발원 내에 단일한 도가니만이 포함되므로, 도가니내의 유기물이 모두 증발되어 소진되고 나면 새로운 도가니에 대한 교체 작업이 필요하게 된다. 이때, 도가니의 교체를 위한 시간이 별도로 소요될 뿐 아니라, 도가니의 교체 과정에서 증발원의 열이 외부로 빠져나가기 때문에 새로이 교체된 도가니를 사전 가열하여 유기물의 증발량이 균일화·안정화될 때까지의 가열 준비 시간 최소 30분에서 길게는 1시간 이상이 별도로 소요된다. 유기물 증착 공정의 진행 중, 갑작스런 트러블이 발생하여 긴급하게 증착 공정을 중단하고 도가니를 냉각하여야할 경우가 생기는데, 상기 로테이션 리볼버 방식의 유기물 진공 증착 장치에 있어서는, 가열용 열선이 각 도가니 주위에 고정 형성되어 있어서, 도가니의 냉각을 위해 약 4 시간 이상이 소요 된다. 공정 중의 트러블에 대한 대처가 늦을 수밖에 없으며, 공정의 양산성에 큰 악영향을 미칠 수 있는 문제점이 있다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 도가니 교체 시에 도가니의 가열 준비를 위한 시간 손실 없이 연속적으로 유기물을 증발시킬 수 있으면서도, 유기물 증착 공정 중의 트러블 발생 시에 도가니를 빠르게 냉각시킬 수 있는 유기물 진공 증착 장치를 제공하기 위한 것이다. 본 기술은 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내의 상부에 배치되는 증착 기판; 유기물을 수용하는 복수의 도가니와, 상기 증착 기판 하부의 제 1 위치로 상기 복수의 도가니를 순차 이송하는 제 1 이송장치와, 상기 제 1 이송 장치를 따라 이송되는 복수의 도가니를 상기 제 1 위치에서 순차적으로 감싸도록 형성되는 제 1 개폐식 히터 블록을 포함하는 제 1 증발원; 유기물을 수용하는 복수의 도가니와, 상기 증착 기판 하부의 제 2 위치로 상기 복수의 도가니를 순차 이송하는 제 2 이송 장치와, 상기 제 2 이송 장치를 따라 이송되는 복수의 도가니를 상기 제 2 위치에서 순차적으로 감싸도록 형성되는 제 2 개폐식 히터 블록을 포함하는 제 2 증발원; 상기 증착 기판과 제 1 증발원의 사이에 형성되는 제 1 셔터부; 상기 증착 기판과 제 2 증발원의 사이에 형성되는 제 2 셔터부; 상기 제 1, 2 셔터부 및 상기 제 1, 2 개폐식 히터 블록을 선택적으로 개폐하고, 상기 제 1, 2 이송 장치를 선택적으로 작동시키는 제어부; 상기 진공 챔버 내의 배기가스를 배출하는 배기 시스템을 포함하는 유기물 진공 증착 장치로 구성되어 있다. 본 기술은 도가니의 교체시 가열 준비를 위한 시간 손실이 전혀 발생하지 않으므로, 양산성 및 경제성이 매우 우수한 유기물 진공 증착 장치를 제공할 수 있을 뿐만 아니라, 유기물의 증착 공정 중 트러블이 발생하여 갑작스런 대처가 필요한 경우에도, 가열 중이던 도가니를 빨리 냉각시킬 수 있어서, 빠른 대처가 가능한 동시에 유기물 증착 공정의 양산성 향상에 크게 기여할 수 있는 장점이 있다.