일반기술

발광성 유기화합물 증착용 증발원 및 이를 이용한 증착장치

본 기술은 발광성 유기화합물 증착용 증발원 및 그를 이용한 증착 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 오엘이디(OLED) 디스플레이 장치를 제조하는 공정에 있어 발광성 유기화합물을 증착하기 위한 증발원 및 이를 이용한 증착 장치에 관한 것이다. 종래 기술의 셔터부는 단지 증발 도가니로부터 선형적으로 흘러나가는 증발된 발광성 유기화합물만을 컨트롤 하도록 설계되어 있어 실제 비선형적으로 흘러가는 증발된 발광성 유기화합물의 경우엔 컨트롤하기 힘들다는 문제가 있으며, 이러한 문제는 증발된 발광성 유기화합물의 양이 많아짐에 따라 더욱 심각해진다. 이로 인해 투명 기판에 증착되는 발광성 유기화합물의 두께 및 평평도(flatness)의 조절이 어렵게 되어 공정조건을 잡기 어려워지게 되는 문제점이 있다. 본 기술이 이루고자 하는 기술적 과제는 증발된 발광성 유기화합물의 투명기판에의 증착 여부 및 증착 결과 증착 두께의 완전한 제어가 가능한 발광성 유기화합물 증착용 증발원을 제공하는 데에 있고, 이러한 발광성 유기화합물 증착용 증발원을 이용한 증착 장치를 제공하는 데에 있다. 본 기술은 상부가 열려 있는 격벽; 상기 격벽 내에 위치하는 증발 도가니; 및 상기 격벽의 상부를 개폐시키는 개폐 부를 포함하는 발광성 유기화합물 증착용 증발원으로 구성되어 있다. 본 기술은 증착원 간의 상호 간섭을 막을 수 있는 움직이는 개폐 부를 설치하여 증착된 색원소의 색순도를 높여 컬러의 품질을 높일 수 있고, RGB 각각의 발광성 유기화합물에 대한 증발원을 하나의 챔버 내에 설치할 수 있어 여러 진공 챔버를 거치지 않아도 되므로 공정이 단순해지고 공정비용을 감소할 수 있으며, 각각 하나하나의 증발원에 대해 증발되어 나오는 물질의 정확한 제어가 가능해지므로 최종 증착막의 두께의 제어가 용이 할 뿐만 아니라, 열선부를 저항 가열방식이 아닌 고주파 유도 가열방식을 사용하고 또한 증발 도가니를 열전도도가 좋은 물질을 사용함으로써 열응답성이 현저히 좋아지고 증착비율이 일정해져 정밀도를 높일 수 있으며 증발 도가니의 용량을 크게 할 수 있는 장점이 있다.