일반기술

두께측정센서를 구비한 유기 박막 증착 장치 및 이의 증착방법

본 기술은 유기 이엘 소자의 제조 공정에서 유기 증착에 사용되는 유기 박막 증착 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판 상에 증착되는 유기 박막의 두께를 조절하여 두께의 균일성을 향상시키고 증착 공정의 양산성을 극대화시키기 위한 두께측정센서를 구비한 유기 박막 증착 장치 및 이를 이용한 두께 제어 방법에 관한 것이다. 종래 기술은 두께측정센서의 짧은 수명으로 인한 성능 저하 및 두께측정센서 자체의 편차로 인하여 증착 기판 상에 증착되는 유기물이 일정한 두께로 균일하게 증착되지 않아, 이러한 증착 공정을 통해 제조된 유기 이엘 소자는 재현성이 떨어지는 문제점이 있다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 증발원으로부터 증발되는 유기물의 증발 속도를 두개의 센서를 통해 조절하여, 유기물이 유리기판 상에 일정 두께로 균일하게 증착되게 함으로써 유기 박막 두께의 균일성을 향상시킨 두께측정센서를 구비한 유기 박막 증착 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다. 또한, 본 기술의 다른 목적은 전술한 유기 박막 증착 장치를 이용하여 증착 공정에 따른 작업 시간을 단축시킴으로써 양산성을 극대화시키는 두께 제어 방법을 제공하는 데 있다. 본 기술은 진공 챔버내에 설치되고 내부에 유기물을 수용하는 증발원과, 상기 증발원 상부에 배치된 기판, 상기 기판의 하부에 개폐 가능하도록 설치된 제1 셔터부를 포함하여, 초기 파라메터 값에 따라 상기 유기물을 증발시켜 상기 기판 상에 증착시키는 유기 박막 증착 장치에 있어서, 상기 증발원으로부터 증발하는 유기물의 증발 속도를 측정하여 상기 유기물의 증착 두께를 환산하는 제1 두께측정센서; 상기 제1 두께측정센서를 통해 측정된 증착 두께에 따라 상기 제1 두께측정센서의 증발 속도를 보정하도록 기준 파라메터가 기 설정된 제2 두께측정센서; 상기 제2 두께측정센서에 개폐가 가능하도록 결합되어 온/오프 동작에 따라 상기 제2 두께측정센서의 사용 유무를 결정하는 제2 셔터부; 상기 제2 셔터부의 온/오프 동작을 제어하는 한편, 상기 제1 두께측정센서로부터 측정된 유기물의 증발 속도를 인가받아 상기 제2 두께측정센서의 기준 파라메터와 비교하고, 상기 비교 결과 일치하지 않으면 상기 초기 파라메터 값을 보정하도록 보정치를 산출하여 상기 제1 두께측정센서로 전달하는 제어부를 포함하는 두께측정센서를 구비한 유기 박막 증착 장치로 구성되어 있다. 본 기술은 증발원으로부터 증발되는 유기물의 증발 속도를 두개의 센서를 통해 조절하여 유리기판상에 일정 두께의 유기 박막이 균일하게 형성되도록 함으로써 유기 박막 두께의 균일성을 향상시켜 소자의 재현성을 높이는 효과가 있다. 또한, 두께측정센서의 짧은 수명으로 인한 성능 저하를 보완하고, 교체 후 보정하기까지의 시간을 현저히 줄여 양산성을 극대화시키는 효과가 있다