일반기술

스핀 코팅 장치

본 기술은 스핀코팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스핀코팅장치에 코팅용 액체를 공급하는 액체 공급 장치에 코팅용 액체에 포함된 버블을 제거하기 위한 트랩부가 형성되어 있는 스핀코팅장치에 관한 것이다. 종래의 기술로는 수 마이크로미터 단위의 얇은 막을 증착하기 위해서는 일반적으로 스핀코팅법이 주로 사용되고 있으나, 버블이 코팅용 액체 속에 포함될 경우 이는 코팅용 액체가 피코팅체에 분사될 때 표면에 결함(defect)로 존재하게 되고, 이러한 결함은 스핀코팅이 종료된 후에도 남게 되어 결국 소자 결함으로 이어지게 되는 문제가 있다. 본 기술이 이루고자 하는 기술적 과제는 스핀코팅장치에 있어서 코팅용 액체 내에 포함되어 있는 버블을 효과적으로 제거하여 우수한 막질을 가진 코팅막을 얻을 수 있는 스핀코팅장치를 제공하는 데에 있다. 본 기술은 모터부, 코터 본체, 상기 코터 본체의 내부에 설치되며 피코팅체가 로딩되는 스핀척, 상기 모터부와 상기 스핀척에 연결되어 상기 모터부에 의해 발생된 회전에너지를 상기 스핀척에 전달하는 회전축, 상기 코터 본체의 상부에 상기 코터 본체와 소정의 이격거리를 두고 형성되어 있는 액체 공급 장치를 포함하는 스핀코팅장치에 있어서, 상기 액체 공급 장치는 소정의 액체를 유입하며 제1 내부지름을 가지는 액체유입부; 유입된 상기 액체를 상기 스핀척에 로딩된 피코팅체에 공급하며, 종단이 노즐로 되어 있고 제2 내부지름을 가지는 액체배출부; 및 상기 액체유입부과 상기 액체배출부 사이에 상기 액체유입부와 상기 액체배출부와 연결되어 설치되며, 상기 제1 내부지름 및 제2 내부지름 보다 큰 제3 내부지름을 가지고, 내부에는 상기 액체유입부에서 유입된 액체에 포함되어 있는 버블을 트래핑하기 위하여 상기 액체가 흐르는 방향과 반대방향으로 형성되어 있는 블레이드가 형성되어 있는 나선형 트랩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅장치로 구성되어 있다. 본 기술의 스핀코팅장치에 의하면, 코팅용 액체가 피코팅체에 분사시 코팅용 액체에 포함된 버블을 효과적으로 제거하는 것이 가능해지며, 이로 인해 스핀코팅공정에서 발생하는 제품의 불량율을 줄여 제품의 수율(yield) 향상을 기대할 수 있는 장점이 있다.