일반기술

유기물 진공 증착 장치

본 기술은 장시간 동안의 유기물의 연속 증착 및 유기물의 재활용을 가능케 하여, 유기물 증착 공정의 양산성 및 경제성을 향상시킬 수 있는 유기물 진공 증착 장치에 관한 것이다. 종래의 기술은 일정 시간 및 사이클 동안 유기물 증착 공정을 진행한 후에는, 상기 유기물 진공 증착장치의 동작을 중지시키고, 상기 진공 챔버의 다른 부분에 증착되어 있는 유기물을 클리닝하여 제거하는 공정을 반드시 거치지 않으면 안된다. 그리고, 이러한 클리닝 공정 후에 다시 유기물 증착 공정을 진행하기 위해서는, 상기 유기물 진공 증착 장치를 가동하고, 가열용 열선을 이용해 도가니에 열을 가하여 승온하고, 상기 도가니로부터 유기물이 증발되는 양과 속도가 균일화·안정화될 때까지 상기 도가니에 일정 시간 동안 열을 가하는 공정을 처음부터 다시 진행하지 않으면 안 되기 때문에, 특히, 상기 클리닝 공정의 진행 주기가 짧을수록 유기물 증착 공정의 양산성이 지극히 저하되는 문제점이 있고, 상기 진공 챔버의 다른 부분에 증착된 유기물을 재활용할 방법 또한 전혀 없었기 때문에, 유기물 증착 공정의 경제성 역시 지극히 저하되는 문제점이 있다. 본 기술은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 장시간 동안의 유기물의 연속 증착 및 유기물의 재활용을 가능케 하여, 유기물 증착 공정의 양산성 및 경제성을 크게 향상시킬 수 있도록 하는 유기물 진공 증착 장치를 제공하기 위한 것이다. 본 기술은 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내의 상부에 배치되는 증착 기판; 상기 증착 기판 하부에서 유기물을 수용하고, 주위에 가열용 열선을 구비하는 도가니; 상기 증착 기판과 도가니 사이에 형성되는 개폐 가능한 셔터부; 상기 진공 챔버 내의 배기가스를 배출하는 배기 시스템; 및 양 끝단부가 중첩하도록 원통 형상으로 감겨 있는 일체의 적층 평판으로 이루어지되, 상기 원통 형상이 상기 진공 챔버내에서 상기 증착 기판, 도가니 및 셔터부를 둘러싸고, 상기 일체의 적층 평판을 이루는 어느 하나의 평판이 이동함으로서 상기 원통 형상의 가장 안쪽 면을 이루는 평판이 교체될 수 있도록 형성되는 챔버 내벽을 포함하는 유기물 진공 증착 장치로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 유기물 진공 증착 장치의 기본적인 구성을 크게 변경시키지 않고도, 진공 챔버에 대한 클리닝 공정의 진행 주기를 현저히 길게 하여, 유기물 증착 공정의 양산성을 크게 향상시킬 수 있으며, 이와 동시에, 증착 기판에 증착되지 않은 유기물을 회수하여 재활용하는 것이 가능해지기 때문에, 유기물 증착 공정의 경제성 역시 현저히 향상되는 장점이 있다.