일반기술

적외선 흡수 볼로메터 제조 방법

본 기술은 볼로메터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 각 물체가 방사하는 각종 적외선(온도)을 흡수하여 검출하는데 적합한 적외선 흡수 볼로메터 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술의 적용 및 응용분야는, 군사용으로는 미사일 및 항공기 seeker, 수색 작전시 야간 시야 확보, 의료 영상용으로는 암진단, 혈류관측, 원격 감시 및 추적 분야는 야간에 발생하는 각종 사고 및 범죄 예방, 자동차 야간 운행시 시야확보, 화재나 사고 발생시의 인명구조등 사회 및 산업 전반에 걸쳐 폭넓게 응용될 수 있다. 볼로메터는 적외선 센서의 일종인 것으로, 물체에서 방사되는 적외선을 흡수하여 열 에너지로 변환할 때 그로 인한 온도 상승으로 전기 저항이 변화하는 것을 측정함으로써, 물체에 직접 접촉하지 않으면서도 물체 표면의 온도를 감지할 수 있는 특성을 갖는다. 종래, 적외선 흡수 볼로메터는 다수의 픽셀(410/1, 420/1, 430/1, -----)(또는 볼로메터 요소)들이 일정한 간격을 두고 매트릭스 형태로 배치되는 형태를 갖는다. 이는 인접하는 픽셀들(즉, 볼로메터 요소들)이 인접하는물체의 적외선에 대해 같은 반응(즉, 인접하는 픽셀들간의 상호 간섭)을 하게 됨으로써 감지되는 이미지의 품질을 저하시키는 요인으로 작용하고 있다. 따라서, 본 기술은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 인접하는 픽셀들 간의 상호 간섭을 차단할 수 있는 적외선 흡수 볼로메터 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 본 기술은, 균일한 높이의 흡수층을 각각 갖는 다수개의 픽셀(또는 볼로메터 요소)을 매트릭스 형태로 단순 배치하는 구조를 갖는 종래의 적외선 흡수 볼로메터와는 달리, 각 픽셀들의 외주변을 둘러싸는 형태로 하여 소정 높이의 차단막을 형성하고 이를 통해 임의의 물체 영역에서 방사되는 적외선이 인접하는 픽셀로 흡수되는 것을 차단함으로써 픽셀들간의 상호 간섭에 기인하는 이미지의 품질 저하를 효과적으로 방지할 수 있으며, 또한 차단막의 내측 측면에 적외선 반사막을 형성하여 물체 영역에서 소정의 각도를 가지고 측방 방향으로 방사되는 적외선을 반사시켜 해당하는 픽셀로 흡수되도록 함으로써 이미지의 고품질화를 더욱 실현할 수 있다.