일반기술

스캐닝 프로브용 컨틸레버 어레이 및 그 제조 방법

본 기술은 스캐닝 프로브용 컨틸레버 어레이에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 큰 배율의 분해능을 갖는 현미경(micro scope)용 컨틸레버(cantilever), 자기 또는 광자기 기록 매체, 반도체 리소그라피 공정 등에 사용하는데 적합한 스캐닝 프로브용 컨틸레버 어레이 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 종래의 스캐닝 프로브용 컨틸레버 어레이는, 신호 전달시에 다이오드 구동용 다이오드의 금속 라인을 통해 입력되는 구동신호가 저농도 도핑된 반도체 영역을 통해 이웃하는 센서 신호 다이오드로 전달되거나 혹은 구동 신호 및 센서 신호가 이웃하는 캔틸레버 셀에 전달됨으로써 상호 간섭을 일으킨다는 문제가 있으며, 이러한 문제는 구동 신호와 센서 신호의 정밀 제어를 저하시키는 요인으로 작용하고 있다. 본 기술은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 컨틸레버 셀을 구성하는 다이오드 간 및 이웃하는 컨틸레버 셀 간의 신호 간섭을 차단할 수 있는 스캐닝 프로브용 컨틸레버 어레이 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.본 기술은, M×N의 매트릭스 구조의 컨틸레버 셀들로 구성되며, 각 컨틸레버 셀들이 센서 신호 다이오드, 변위 센서, 액추에이터 구동용 다이오드, 액추에이터를 적어도 포함하는 스캐닝 프로브용 컨틸레버 어레이에 있어서, 상기 각 컨틸레버 셀내 센서 신호 다이오드와 액추에이터 구동용 다이오드 간을 전기적으로 격리시키고, 이웃하는 컨틸레버 셀들 간을 전기적으로 격리시키는 분리 영역을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술은 저농도 도핑된 반도체 영역으로 된 하나의 바디를 통해 컨틸레버 셀을 구성하는 센서 신호 다이오드와 액추에이터 구동용 다이오드 간 및 이웃하는 캔틸레버 셀 간이 물리적으로 연결되는 구조를 갖는 전술한 종래의 스캐닝 프로브용 컨틸레버 어레이와는 달리, 하나의 캔틸레버 셀을 구성하는 센서 신호 다이오드와 캔틸레버 구동용 다이오드를 전기적, 물리적으로 격리시키고, 이웃하는 캔틸레버 셀 간을 전기적, 물리적으로 격리시키는 구조를 채용함으로써, 인접하는 소자간의 신호 상호 간섭을 효과적으로 차단할 수 있기 때 문에 구동 신호와 센서 신호의 정밀 제어를 실현할 수 있다. 또한, 본 기술의 스캐닝 프로브용 컨틸레버 어레이는 이웃하는 소자 간(다이오드 간, 캔틸레버 셀 간에 분리 영역을 형성하여 전기적으로 서로 격리시키기 때문에 신호의 상호 간섭에 기인하는 노이즈의 발생을 효과적으로 억제할 수 있으며, 이를 통해 캔틸레버 어레이 제어 시스템에서의 노이즈 감소회로를 간소화할 수 있는 효과를 갖는다.