일반기술

유기 전계 발광 소자의 제조 방법

본 기술은 단순화된 공정을 가지는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 종래, 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위해서는, 기술은 3 회의 노광 공정 및 2 회의 현상 공정이 필요하게 되므로, 유기 전계 발광 소자의 제조 공정이 복잡해지는 문제점이 존재한다. 더구나, 제 2 차 노광 공정에서 비노광된 상변환 감광막, 즉, 절연막의 단부 일부분이 상변환 베이크에 의해 완전히 가교되지 않아, 추후의 전면 노광 및 제 2 차 현상 공정에서 제거되어 버리는 문제점이 존재한다. 본 기술의 목적은, 단일층의 감광막을 사용하여 절연막과 격벽을 모두 형성할 수 있으면서도, 1 회의 현상 공정만을 포함하게 되어 제조 공정이 단순하며, 화소와 인접하는 격벽 하부의 절연막 단부 부근에서 전극 간의 단락을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.본 기술은 단일층의 상변환 감광막 또는 포지티브 감광막을 사용하여 절연막 및 격벽을 동시에 형성할 수 있어서 절연막과 격벽 사이의 접착력에 따른 문제가 발생하지 않으면서도, 단 1 회의 현상 공정을 포함하게 되어 2 회 이상의 현상 공정을 포함하는 종래 기술에 비해 지극히 단순화된 공정으로 상기 절연막 및 격벽을 구비하는 유기 전계 발광 소자를 제조할 수 있다. 특히, 2-Tone의 하프톤 마스크를 이용하면, 노광공정도 2번으로 더욱 줄일 수 있다. 또한, 본 기술의 제조 방법에서는, 단 1 회의 현상 공정에서 경사(positive profile)를 가지는 절연막과 역경사를 가지는 오버행 구조의 격벽을 동시에 형성하게 되므로, 2 번째의 현상 공정에서 화소에 인접하는 격벽 하부의 절연막 단부가 손상되어 절연막의 경사면(positive profile)이 이루는 경사각이 수직에 가깝게 커짐으로서, 절연막 단부 근방에서 전극 간의 단락을 일으키는 종래 기술의 문제점 역시 완전히 해결할 수 있다. 또한, 3번의 노광 공정과 열처리 공정을 일괄 진행 후, 한번에 현상을 진행하기 때문에 인라인 장비 구성이 컴팩트해지고, 공정시간, 장비투자비 및 Capacity를 종래기술보다 크게 개선할 수 있기 때문에 양산에 특히 유용하다. 그리고, 특히 수분의 존재가 유기 전계 발광 소자의 신뢰성에 치명적인 점을 감안할 때, 현상공정수를 최소화함으로써, 이로 인한 수분의 흡착 및 내부 보유 가능성을 최소화 한다.