일반기술

유기물 진공 증착 장치

본 기술은 유기물 진공 증착 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 쉐도우 롤링 필름을 이용하여 다양한 패턴의 유기물이 증착된 유기 발광 소자를 형성할 수 있는 유기물 진공 증착 장치에 관한 것이다. 종래의 진공증착법에서는 도가니형 증발원 등에서 공급된 유기물을 쉐도우 마스크의 마스크 패턴에 의해 선별적으로 통과시켜 성막용 기판위에 증착하므로 하나의 쉐도우 마스크를 이용하는 경우 성막용 기판 위에 한가지 패턴의 유기물을 증착할 수밖에 없었다. 그 결과 디바이스 개발에 사용하기 위해 다양한 유기물 층이 증착된 테스트 소자를 제작하는 경우 다양한 마스크 패턴을 가진 쉐도우 마스크와 많은 성막용 기판이 소모되는 문제가 있었다. 본 기술은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 쉐도우 마스크의 교체 없이 다양한 유기물을 증착할 수 있고, 쉐도우 마스크의 표면에 증착되는 유기물을 감소시켜 쉐도우 마스크의 교체 주기를 증가시킬 수 있는 유기물 진공 증착 장치를 제공함을 목적으로 한다.본 기술에 의하면, 쉐도우 마스크 기능을 하는 쉐도우 롤링 필름을 추가하여 쉐도우 마스크의 교체 없이 다양한 유기물을 증착할 수 있는 효과가 있다. 다음으로, 먼저 쉐도우 롤링 필름에 의해 공급되는 유기물을 일차적으로 선별하므로, 쉐도우 마스크의 표면에 증착되는 유기물이 감소되어 쉐도우 마스크의 교체 주기를 늘일 수 있는 효과도 있다. 또한, 연속 공정 중에 발생하는 열을 쉐도우 롤링 필름으로 차단하여 쉐도우 마스크의 변형에 의한 유기물 증착 불량을 방지할 수 있는 효과도 있다.