일반기술

베이킹 장치

본 기술은 베이킹 장치에 관한 것으로서, 특히 핫 플레이트의 온도 편차로 인한 기판 에지의 휘어짐을 방지할 수 있는 베이킹 장치에 관한 것이다. 종래 기술에 의한 베이킹 장치는 핫 플레이트의 중심부와 에지사이의 온도 편차나 베이킹 챔버 내부의 환경에 따라 부분적인 온도 편차가 발생하게 된다. 따라서, 핫 플레이트의 중심부와 에지 사이에 온도편차로 인하여 에지 부분의 기판이 휘어지게 되고 그 결과, 기판에 균일한 베이킹 공정이 이루어지지 않게 되는 문제점이 있다. 본 기술의 목적은, 핫 플레이트 에지 부근에 가열 수단을 추가함으로써 핫 플레이트 중심부와 에지 사이의 온도 편차로 인한 기판 에지의 휘어짐을 방지할 수 있는 베이킹 장치를 제공하는데 있다.본 기술에 따른 베이킹 장치는, 베이킹 챔버내에 히터를 내장하여 기판을 가열시키는 핫 플레이트와, 기판의 에지 부근의 베이킹 챔버 내에 부착되는 가열 수단과, 핫 플레이트의 히터 및 가열 수단에 기설정된 전압을 공급하는 전원부와, 핫 플레이트의 히터 및 가열 수단에 소정 전압이 공급되도록 전원부에 구동 제어 신호를 보내는 제어부로 구성되어 있다. 본 기술은 베이킹 챔버의 기판 에지 부근에 부착된 가열 수단에 의해 기판 에지를 추가로 가열시킴으로써 핫 플레이트의 중심부와 에지 사이에서 발생되는 온도 편차를 없애 균일한 베이킹 공정이 이루어지도록 한다. 따라서, 베이킹 장치에서 핫 플레이트 중심부와 에지 사이의 온도 편차로 인한 기판 에지의 휘어짐을 방지할 수 있어 베이킹 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.