일반기술

약액 탱크 세정 장치를 갖는 약액 처리 시스템

본 기술은 약액 처리 시스템에 관한 것으로서, 특히 약액 탱크를 자동으로 세정할 수 있는 약액 탱크 세정 장치를 갖는 약액 처리 시스템에 관한 것이다. 종래 기술에 의한 약액 처리 시스템은, 약액 탱크 내부를 세정하려면 약액 탱크에 보관중인 약액을 모두 배수시키고 탱크 덮개를 열은 후에 초순수 공급 수단을 이용하여 사용자가 직접 탱크 내부를 세정하였다. 하지만, 이와 같은 약액 탱크의 세정시 약액 탱크 덮개에 묻어있는 약액이 흘러나와서 히터 또는 써모커플(thermocouple) 부위에 닿아 부식시키고 인체에 유해한 증기(fume)를 발생하게 된다. 게다가 사용자가 약액 탱크 내부를 직접 세정해야하는 번거로움이 있고 세정후 약액 탱크 내부가 건조되기까지 세정 및 건조 시간이 오래 소요된다는 문제점이 있었다. 본 기술의 목적은, 약액 탱크 내에 초순수 공급 노즐을 설치함으로써 약액 탱크 세정시 초순수 공급 노즐에 초순수를 공급하여 약액 탱크를 자동으로 세정할 수 있는 약액 탱크 세정 장치를 갖는 약액 처리 시스템을 제공하는데 있다.본 기술에 따른 약액 탱크 세정 장치를 갖는 약액 처리 시스템은, 약액 탱크를 갖는 약액 처리 시스템에 있어서, 약액 탱크 내부에 설치된 초순수 공급 노즐과, 초순수 공급 노즐에 초순수를 공급하는 공급부과, 공급부의 초순수를 초순수 공급 노즐에 전달하여 약액 탱크 내부를 세정하도록 제어하는 제어부로 구성되어 있다. 본 기술은 약액 탱크 세정시 초순수 공급 노즐에 초순수를 공급하여 약액 탱크를 자동으로 세정할 수 있고, 세정 이후 약액 탱크에 기설정된 온도의 퍼지 가스를 공급하여 탱크 내부를 자동으로 건조시킬 수 있다. 따라서, 약액 탱크를 갖는 약액 처리 시스템에서 약액 탱크의 세정 및 건조가 자동화되기 때문에 사용자가 집적 약액 탱크를 세정하는데 발생하는 여러 가지 문제점을 해결할 수 있다.