일반기술

증착 챔버의 두께 측정 장치

본 기술은 증착 챔버에 관한 것으로서, 특히 두께 측정용 센서의 교체 시간을 줄여 증착 공정의 가동 시간을 증가시킬 수 있는 증착 챔버의 두께 측정 장치에 관한 것이다. 현재, 유기발광소자(OLED)의 증착 물질의 두께를 측정하기 위해서는 수정 진동자 등의 센서가 이용된다. 수정 진동자는 자체적인 용량 한계에 의해 증착되는 물질이 많아질수록 박막 내에 응력이 작용하여 박막이 박리되거나 노이즈가 증가하는 등의 문제가 발생하여 수정 진동자를 교체해야만 한다. 증착 챔버 내에 설치된 수정 진동자를 교체하기 위해서는 증착 공정을 중단하고 증착 챔버내의 수정 진동자를 교체한 후에 진공 챔버를 펌핑(pumping)해서 진공 상태로 만들어야하기 때문에 증착 챔버가 가동되기까지 오랜 시간이 소요되는 단점이 있었다. 본 기술의 목적은, 증착 챔버내에 다수개의 두께 측정용 센서를 설치하고 어느 한 센서만 오픈되는 셔터를 구비함으로써 증착 챔버의 센서 교체 횟수를 줄일 수 있어 증착 공정의 가동 시간을 증가시킬 수 있는 증착 챔버의 두께 측정 장치를 제공하는데 있다.본 기술에 따른 증착 챔버의 두께 측정 장치는, 증착 챔버에 있어서, 증착 챔버의 상부면에 설치되어 증착 두께를 측정하는 다수개의 센서와, 다수개의 센서 중에서 어느 하나의 센서를 오픈시키는 셔터와, 셔터를 구동시키는 셔터 구동부와, 다수개의 센서 중에서 현재 사용되고 있는 센서의 교체 시기가 되면, 셔터 구동부를 작동시켜 다른 센서가 오픈되도록 제어하는 제어부로 이루어져 있다. 본 기술은, 증착 챔버내에 다수개의 두께 측정용 수정 진동자 센서를 설치하고 어느 한 센서만 오픈되는 셔터를 구비함으로써 증착 챔버의 센서 교체하고 증착 챔버를 다시 가동하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있어 증착 공정의 전체 가동 시간을 증가시킬 수 있다.