일반기술

기판 에지의 감광막 제거 장치

본 기술은 감광막 제거 장치에 관한 것으로서, 특히 감광막의 코팅이 끝난 후 기판 에지에 불규칙하게 형성된 에지 비드(edge bead)를 제거하기 쉬운 기판 에지의 감광막 제거 장치에 관한 것이다. 종래 기술에 의한 기판 에지의 감광막 제거 장치는, 니들형 노즐의 니들이 워낙 가늘기 때문에 육안으로 가스 분사가 골고루 되고 있는지 확인이 불가능하며 한, 두 개의 니들만 막혀도 장치를 통째로 교환하거나 니들형 노즐을 별도로 세정해야하는 번거로움이 있었다. 본 기술의 목적은, 슬릿 형태의 노즐을 통해 에지 비드를 제거하기 위한 가스를 분사함으로써 감광막의 코팅이 끝난 후 기판 에지에 불규칙하게 형성된 에지 비드를 제거할 때 항상 일정한 압력으로 가스를 균일하게 분사할 수 있는 기판 에지의 감광막 제거 장치를 제공하는데 있다.본 기술에 따른 기판 에지의 감광막 제거장치는, 기판 에지의 감광막을 제거하는 장치에 있어서, 기판 에지에 일정 간격 떨어진 헤드와, 헤드에 설치되어 감광막 에지 비드를 제거하는 가스를 분사하는 슬릿 형태의 노즐와, 슬릿 형태의 노즐에 감광막 에지 비드를 제거하기 위한 가스를 공급하는 가스 공급 수단으로 구성되어 있다. 본 기술은, 슬릿 형태의 노즐을 통해 에지 비드를 제거하기 위한 가스를 일정한 압력으로 분사할 수 있다. 따라서, 종래 니들 형태의 노즐에 의해 니들 구멍이 막혀 전체 노즐의 니들에서 균일하게 N2 등의 가스를 분사하지 못하고 이로 인해 어느 한 부분의 니들로 가압되어 기판 에지의 에지 비드가 기판 중심으로 튀는 현상을 방지할 수 있어 유기발광소자 등의 평판 디스플레이 소자의 제조 수율을 향상시킬 수 있다.