일반기술

유기 발광 소자의 제조 방법

본 기술은 양전극층 및 보조 전극 상의 유기 오염 물질과 함께 산화막을 효과적으로 제거할 수 있도록 하는 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 종래 기술에 의한 유기 발광 소자의 제조 방법에서, 양전극층 또는 보조 전극의 표면을 산소 플라즈마로 세정하면, 이들의 표면에 얇은 산화막이 형성되어 저항이 증가하고 전기적 특성이 저하되는 문제점이 발생하였다. 또한, 상기 양전극층 또는 보조 전극을 습식 세정하더라도, 습식 챔버로의 이동 과정 등에서 상기 투명 기판이 외부의 산소에 노출됨으로서, 상기 양전극층 또는 보조 전극의 표면에 얇은 산화막이 형성되어 마찬가지 문제점이 발생하였다. 본 기술의 목적은, 양전극층 및 보조 전극 상의 유기 오염 물질과 함께 산화막을 효과적으로 제거할 수 있도록 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.본 기술의 유기 발광 소자의 제조 방법은, 투명 기판 위에 양전극층 및 보조 전극을 형성하는 단계; 상기 양전극층 또는 보조 전극을 습식 세정 또는 산소 플라즈마 세정하는 단계; 및 상기 양전극층 또는 보조 전극을 환원 가스의 플라즈마로 처리하는 단계로 이루어져 있다. 본 기술은, 양전극층 또는 보조 전극 표면의 유기 오염 물질 및 얇은 산화막을 효과적으로 제거할 수 있으며, 이에 따라, 상기 얇은 산화막 등에 의해 상기 양전극층 또는 보조 전극의 저항이 증가하거나 전기적 특성이 저하되는 것을 최소화할 수 있다. 또한, 패드 영역의 배선 패턴과 유기 발광 소자를 구동하기 위한 FPC가 잘 접착되게 할 수 있다. 결국, 본 기술에 따르면, 보다 향상된 신뢰성 및 품질을 나타내는 유기 발광 소자를 제조할 수 있게 된다.