일반기술

유기 발광 소자의 제조 방법

본 기술은 보다 증가된 수율로 양호한 유기 발광 소자를 제공할 수 있도록 하는 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 종래 기술에 의한 유기 발광 소자의 제조 방법에서, 이물에 의한 감광막 패턴의 불량이 발생한 경우, 이러한 감광막 패턴을 마스크로 보조 전극층을 패터닝하여 보조 전극을 형성하면, 실제 보조 전극층 제거되어야 하는 일부의 영역에서 여전히 보조 전극층이 잔류하는 문제점이 나타날 수 있다. 일부 영역에 잔류하는 보조 전극층은 유기 발광 소자의 화소를 가려서 유기 발광 소자의 전체적인 발광 효율을 떨어뜨리거나, 결함으로 작용하여 유기 발광 소자의 전체적인 수율을 떨어뜨릴 수 있다. 본 기술의 목적은, 보다 증가된 수율로 양호한 유기 발광 소자를 제공할 수 있도록 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.본 기술은, 투명 기판 위에 양전극층 및 보조 전극층을 순차 형성하는 단계; 상기 보조 전극층 위에 네가티브 감광막을 형성하는 단계; 상기 네가티브 감광막을 패터닝하여 보조 전극 형성 영역을 정의하는 감광막 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 감광막 패턴을 마스크로 상기 보조 전극층을 패터닝하는 단계로 이루어져 있다. 본 기술에 따르면, 유기 발광 소자의 활성 영역 중 일부 영역에 보조 전극층이 잔류하여 유기 발광 소자의 전체적인 발광 효율 또는 수율을 떨어뜨리는 종래 기술의 문제점을 해결할 수 있다. 따라서, 보다 증가된 수율로 양호한 유기 발광 소자를 제조할 수 있게 된다.