일반기술

유기 전계 발광 소자의 스핀 코팅 장치

본 기술은 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 투명 기판 상에 포토레지스트를 스핀(spin)방식으로 코팅하는 스핀 코팅 장치에서 투명 기판을 정 위치에 로딩할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 스핀 코팅 장치에 관한 것이다. 종래 스핀 코팅 장치에서, 스핀 척의 가장자리에 위치하여 투명 기판의 위치를 고정하는 위치핀은 스핀 척 상에 고정되어 있으므로 로더가 고정된 위치핀의 위치를 벗어나서 투명 기판을 로딩할 경우, 투명 기판이 잘못된 위치에 배치된다. 이렇게 투명 기판이 잘못된 위치에 배치된 상태로 포토레지스트를 공급하면 균일하게 도포되지 못하여 결함이 발생할 수 있다. 본 기술의 목적은, 스핀 코팅 장치의 구조를 개선하여 투명 기판을 정 위치에 로딩할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 스핀 코팅 장치를 제공하는 데 있다. 본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 스핀 코팅 장치는, 투명 기판이 배치되는 스핀 척; 상기 스핀 척의 가장자리에 배치되고, 상기 투명 기판의 위치를 고정하기 위해 상기 스핀 척의 중심부를 향해 가이드 홈을 따라 이동 가능하게 형성되는 위치핀; 상기 스핀 척 하부에서 상기 스핀 척을 지지하면서 회전시킬 수 있고, 상하 이동이 가능하게 형성되는 지지대; 상기 지지대 및 위치핀과 연결되어 상기 지지대가 상하 이동함에 따라 상기 위치핀을 이동시키는 이동축; 상기 지지대와 연결되어 상기 지지대를 회전시키면서 상하로 이동시키는 구동수단; 상기 투명 기판에 포토레지스트를 공급하는 노즐; 및 상기 스핀 척 상부에서 투명기판을 로딩하는 로더로 이루어져 있다. 본 기술에 따르면, 스핀 척의 중심부를 향해 가이드 홈을 따라 이동 가능하게 형성되는 위치핀을 이용하여 투명 기판을 바른 위치에 로딩함으로써 포토레지스트를 균일하게 도포할 수 있다.