일반기술

유기 발광 소자의 제조 방법

본 기술은, 신뢰성 높은 유기 발광 소자를 용이하게 제조할 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 종래 기술에 의한 유기 발광 소자의 제조 방법에서는, 양전극층과 음전극층의 전기적 절연을 위하여, 감광막을 이용한 노광 및 현상 공정으로 절연막 및 격벽을 형성하였다. 그런데, 상기 격벽은 서로 인접하는 음전극층 등의 단락을 방지하기 위해 역경사 단면을 가지도록 형성하여야 하는 바, 상기 노광 및 현상 공정을 통해 이러한 역경사 단면을 형성하기 위해서는 매우 정밀한 공정 조건의 조절이 필요하게 되어, 상기 격벽의 형성 공정에 큰 어려움이 뒤따르게 되었다. 본 기술의 목적은, 보다 신뢰성 높은 유기 발광 소자를 용이하게 제조할 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.본 기술은, 투명 기판 위에 어느 한 방향으로 배열되는 복수의 양전극층을 형성하는 단계; 상기 투명 기판 위에 비감광성 절연층을 형성하는 단계; 상기 비감광성 절연층 위에 복수의 화소 개구부를 정의하는 격자 형태의 제 1 감광막 패턴을 형성하는 단계; 상기 제 1 감광막 패턴을 마스크로 상기 비감광성 절연층을 제 1 차 식각하는 단계; 상기 제 1 감광막 패턴을 제거하는 단계; 상기 비감광성 절연층 위에, 상기 복수의 화소 개구부를 포함하면서 상기 복수의 양전극층과 직교하는 방향으로 배열된 줄무늬 형태의 개구부를 정의하는 제 2 감광막 패턴을 형성하는 단계; 상기 제 2 감광막 패턴 및 비감광성 절연층 표면에 플라즈마를 가하여 식각 마스크를 형성하는 단계; 상기 복수의 화소 개구부의 비감광성 절연층이 모두 제거될 때까지, 상기 제 2 감광막 패턴을 마스크로 상기 비감광성 절연층을 제 2 차 등방성 식각하는 단계; 상기 제 2 감광막 패턴을 제거하는 단계; 상기 화소 개구부의 양전극층 위에 유기 박막층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 박막층 위에 음전극층을 형성하는 단계로 이루어져 있다. 본 기술에 따르면, 감광막 대신 실리콘 산화막 등의 비감광성 절연 물질로 형성된 절연막을 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공할 수 있게 된다. 따라서, 종래 기술에서 감광막에 대한 노광 및 현상 공정을 통해 절연막 및 격벽을 형성하면서 나타나는 제조 공정상의 어려움이 최소화될 수 있다. 또한, 최종 제조된 유기 발광 소자의 사용시에 잔류 유기 용매 또는 수분이 절연막으로부터 아웃개싱(outgassing)될 염려도 없으며, 이로 인해, 유기 발광 소자의 신뢰성 및 수명을 보다 향상시킬 수 있다.