일반기술

유기 발광 소자 및 그의 제조 방법

본 기술은, 신뢰성 높은 유기 발광 소자를 용이하게 제조할 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 종래 기술에 의한 유기 발광 소자의 제조 방법에서는, 양전극층과 음전극층의 전기적 절연을 위하여, 감광막을 이용한 노광 및 현상 공정으로 절연막 및 격벽을 형성하였다. 그런데, 상기 격벽은 서로 인접하는 음전극층 등의 단락을 방지하기 위해 역경사 단면을 가지도록 형성하여야 하는 바, 상기 노광 및 현상 공정을 통해 이러한 역경사 단면을 형성하기 위해서는 매우 정밀한 공정 조건의 조절이 필요하게 되어, 상기 격벽의 형성 공정에 큰 어려움이 뒤따르게 되었다. 또한, 상기 절연막 및 격벽의 형성 공정 중에 이들을 이루는 감광막 내의 잔류 유기 용매 또는 수분 등을 완전히 제거하지 않을 경우, 최종 제조된 유기 발광 소자의 사용 중에 이러한 잔류 유기 용매 또는 수분 등이 아웃개싱(outgassing)되어 수분 등에 취약한 유기 박막층을 손상시키고, 이에 따라, 유기 발광 소자의 신뢰성을 크게 저하시키는 문제점도 있었다. 본 기술의 목적은, 보다 신뢰성 높은 유기 발광 소자를 용이하게 제조할 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다. 본 기술은, 투투명 기판 위에 어느 한 방향으로 배열되어 있는 복수의 양전극층; 상기 양전극층 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 투명 기판 및 양전극층 위에 격자 형태로 형성되어 있고, 상기 양전극층이 배열된 방향과 직교하는 방향으로는 단면에서 보아 역경사를 포함하게 형성되어 있으며, 비감광성 절연 물질로 이루어진 절연막; 상기 화소 개구부의 양전극층 위에 형성되어있는 유기 박막층; 및 상기 유기 박막층 위에 형성되어 있는 음전극층을 포함하는 유기 발광 소자로 이루어져 있다. 본 기술에 따르면, 감광막 대신 실리콘 산화막 등의 비감광성 절연 물질로 형성된 절연막을 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공할 수 있게 된다. 따라서, 종래 기술에서 감광막에 대한 노광 및 현상 공정을 통해 절연막 및 격벽을 형성하면서 나타나는 제조 공정상의 어려움이 최소화될 수 있다. 또한, 최종 제조된 유기 발광 소자의 사용시에 잔류 유기 용매 또는 수분이 절연막으로부터 아웃개싱(outgassing)될 염려도 없으며, 이로 인해, 유기 발광 소자의 신뢰성 및 수명을 보다 향상시킬 수 있다.