일반기술

건조 장치 및 방법

본 기술은, 에어나이프의 공기 토출 방식에 의해 1차로 건조되고, 1차 건조된 증착기판이 흡입부재의 공기 흡입에 의해 2차로 건조됨으로써, 증착기판의 건조율이 증대됨을 특징으로 하는 건조 장치 및 방법에 관한 것이다. 에어나이프를 통과한 증착기판의 표면에는 세정액이 완전히 건조되지 않아 물얼룩이 발생하는 경우가 발생하는데, 특히 증착기판의 모서리부분에 자주 발생한다. 이러한 물얼룩이 증착기판의 표면에 발생하지 않도록 에어나이프의 배출 공기 압력을 높일 수도 있으나, 이럴 경우 공기가 커튼 역할을 하여 증착기판의 이동을 방해하는 문제점이 있다. 특히 에어나이프의 공기 토출 부분이 이물질로 인해 일부 막히는 경우, 증착기판에 물얼룩이 더욱 심하게 발생하는 문제점이 있다. 본 기술의 목적은, 증착기판이 세정된 다음 에어나이프를 통과한 후, 흡입부재에 의해 완전 건조되도록 함으로써, 증착기판에 세정액이 존재하지 않도록 하는 것이다.본 기술은 챔버; 상기 챔버 내부를 유기물이 증착된 증착기판이 이동하도록 안내하는 가이드부; 상기 증착기판의 상하측면에 각각 공기를 토출시키는 에어나이프; 및 상기 에어나이프를 통과한 상기 증착기판의 표면에 부착된 세정액을 제거하는 흡입부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 건조 장치 및 방법은 에어나이프의 토출 공기에 의해 증착기판이 1차 건조되고, 흡입부재의 공기 흡입에 의해 증착기판이 2차 건조됨으로써, 증착기판의 건조 상태를 개선하는 효과가 있다. 그리고, 흡입부재의 흡입홀은 진공펌프와 멀어질수록 폭이 줄어들게 설계함으로써, 흡입홀 전체의 흡입량을 균일하게 유지할 수 있는 효과가 있다. 또한, 차단부에 의해 흡입홀의 일부가 차폐됨으로써, 흡입홀의 특정부분에 대한 흡입력을 향상시켜, 증착기판의 특정부분에 대한 건조률을 개선하는 효과가 있다. 뿐만 아니라, 감지센서를 통해 증착기판이 흡입부재에 근접시에만 진공펌프가 구동함으로써, 불필요한 진공펌프의 구동을 방지하여, 제품의 수명을 연장시키고 에너지를 절약하는 이점이 있다.