일반기술

유기 발광 소자의 제조 방법

본 기술은, 화소 개구부의 개구율을 보다 향상시켜 유기 발광 소자의 실질적인 발광 면적을 증가시킬 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 종래의 유기 발광 소자 제조 방법에서, 격벽을 패터닝하는 공정에서의 노광 마스크의 얼라인 등 여러 가지 요인으로 인해 상기 오버행 구조의 격벽이 상기 화소 개구부의 끝단 일부를 가리게 형성될 수 있다. 그러므로, 종래 기술에 따르면 상기 화소 개구부의 개구율을 향상시키는데 한계가 있으며, 이로 인해, 유기 발광 소자의 실질적인 발광 면적을 증가시키는데에도 한계가 있었다. 본 기술의 목적은, 화소 개구부의 개구율을 보다 향상시켜 유기 발광 소자의 실질적인 발광 면적을 증가시킬 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.본 기술의 유기 발광 소자 제조방법은, 기판 위에 줄무늬 형상의 복수의 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극이 형성된 기판 전면에 상변환 감광막을 형성하는 단계; 상기 상변환 감광막을 상기 제 1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하는 격자 형태를 띄도록 패터닝하는 단계; 각각의 영역이 상기 제 1 전극과 직교하는 방향으로 평행하게 배열된 복수의 화소 개구부만을 모두 포괄하면서 서로 인접하는 영역은 소정 간격 이격되게 정의된 복수의 영역 중에서, 하나씩 거른 영역의 상기 상변환 감광막에 제 1 노광하는 단계; 상기 제 1 노광된 상변환 감광막을 상변환하는 단계; 상기 상변환 감광막의 전면에 제 2 노광하는 단계; 및 상기 제 2 노광된 상변환 감광막을 현상하는 단계로 구성된다. 본 기술에 따르면, 단일층의 상변환 감광막에 대한 단순화된 공정을 통해 일체화된 구조로 절연막 및 격벽을 형성할 수 있고, 화소 개구부의 개구율을 향상시켜 실질적인 발광 면적이 크게 증가된 유기 발광 소자를 제조할 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공할 수 있다. 따라서, 유기 발광 소자의 공정 단순화, 고해상도화 및 저소비전력화에 크게 기여할 수 있다.