일반기술

유기물 증착 장치

본 기술은, 진공펌프를 통한 공기 흡입으로 증착기판의 상측면을 흡착함으로써, 대형 증착기판이 자체 하중으로 인해 하방으로 쳐지는 현상을 방지하여, 제품의 제조수율 저하를 막아 제조단가를 절감하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치에 관한 것이다. 유기물을 증착하는 공정에서, 증착기판의 크기가 커지게 되면 증착기판의 자체 무게에 의해 중앙부분이 하방으로 쳐지게 되는데, 상향식 유기물 증착의 경우 증착하고자 하는 픽셀(pixel)에 정확히 증착하기 어려운 문제점이 있다. 이로 인해, 증착기판에 대한 제조수율의 저하를 초래하며 제조단가의 증가를 가져오게 된다. 본 기술의 목적은, 증착기판의 상측을 진공 흡입하여 대형 크기의 증착기판이 하방으로 쳐지는 것을 방지함으로써, 증착기판에 유기물이 정확히 증착하도록 함을 목적으로 한다. 본 기술은 진공챔버; 상기 진공챔버의 내부 하부에 위치하여 유기물을 증발시키는 증발원; 상기 증발원의 상방에 위치하여 유기물이 증착되는 증착기판을 지지하는 고정부재로 이루어지고, 상기 고정부재는 메탈마스크의 끝단면을 받쳐주는 하나 이상의 제1고정부; 상기 각 제1고정부의 상측에 구비되어 길이가 가변되는 이동부; 및 상기 각 이동부의 상단에 결합하고 진공펌프와 연결되어 상기 증착기판의 끝단 상측면을 흡착하는 제2고정부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 유기물 증착 장치는, 진공펌프를 통한 흡입력으로 유리재질의 증착기판 상측 일부 또는 전면을 흡착함으로써, 대형 증착기판이 자체 하중으로 인해 하방으로 쳐지는 것을 방지하는 효과가 있다. 그리고, 증착기판과 접촉되는 제2고정부의 본체부분에는 연질의 연질부재가 부착됨으로써, 유리재질의 증착기판이 파손되는 것을 방지하는 이점이 있다.