일반기술

유기 전계 발광 소자의 제조방법

본 기술은, 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 높은 개구율을 갖는 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 관한 것이다. 화소를 정의하는 개구부는 역경사 구조의 격벽층 패턴의 각도에 의해 개구율이 결정된다. 그런데 안정하게 음전극층 패턴을 분리하기 위하여 역경사 구조의 오버행 부분의 각도를 낮출수록 개구율은 작아지게 되고, 이렇게 개구율이 작아지면 미세 구조를 갖는 고화질의 유기 전계 발광 소자를 구현하기 어려워진다. 본 기술의 목적은, 음전극층 패턴을 분리하는 방법을 개선하여 유기 전계 발광 소자의 개구율을 향상할 수 있고, 격벽층의 오버행 구조를 개선할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 제조하는데 있다.본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 기판 위에 어느 한 방향으로 뻗어 있는 양전극층 패턴을 형성하는 단계; 상기 양전극층 패턴 및 기판 위에 격자 형태의 절연층 패턴을 형성하여 화소용 개구부를 정의하는 단계; 상기 절연층 패턴 상에 감광막을 도포 및 패터닝하여 정경사 구조의 격벽층 패턴을 형성하는 단계; 상기 정경사 구조의 격벽층 패턴을 포함하는 기판 전면에 유기 전계 발광층을 형성하는 단계; 상기 유기 전계 발광층 위에 전극형성용 금속물질을 증착하여 양전극층 패턴과 직교하여 배열되는 제1 음전극층 패턴 및 상기 격벽층 패턴 위에 배열되는 제2 음전극층 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 기판 상에 음전극층 분리용 마스크를 배치하고, 상기 제2 음전극층 패턴을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 의하면, 탄성체 재질의 고분자 물질으로 이루어진 음전극층 분리용 마스크를 이용하여 음전극층 패턴을 분리함으로써 정경사 구조의 격벽층 패턴으로 형성할 수 있다. 이에 따라 유기 전계 발광 소자의 개구율을 향상시켜 고화질의 유기 전계 발광 소자를 제조할 수 있다.