일반기술

유기 전계 발광 소자의 제조방법

본 기술은, 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 저저항 전극을 제조하는 과정에서 발생하는 결함을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 관한 것이다. 종래 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법에서, 메탈 마스크 패턴은, 코너 부분의 인장강도가 약해 메탈 마스크 패턴이 기판에 밀착되지 못하고 들떠 있거나 움직일 수 있다. 이와 같이 메탈 마스크 패턴이 기판으로부터 들떠 있거나 움직일 경우, 배선 패턴 형성용 물질이 증착되지 않아야 할 곳까지 확장하여 증착되는 문제가 발생할 수 있다. 본 기술의 목적은, 메탈 마스크 패턴을 이용한 제2 배선 패턴 형성용 물질의 증착방법을 개선하여, 기판 위에 메탈 마스크 패턴이 완전히 밀착하여 비증착영역으로의 증착 물질이 침투하는 결함을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 제공하는 데 있다.본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 제1 전극과 연결되고, 제1 전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 기판의 발광부를 포함하는 제1 영역을 노출하는 제1 메탈 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 메탈 마스크 패턴을 마스크로 상기 제1 영역에 제2 전극 형성용 물질을 증착하는 단계; 상기 제1 영역을 제외한 제2 영역을 노출하는 제2 메탈 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 메탈 마스크 패턴을 이용하여 상기 제2 영역에 제2 전극 형성용 물질을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따르면, 제2 배선 패턴 형성용 물질의 증착시 두장의 메탈 마스크 패턴을 이용함으로써 기판 위에 메탈 마스크 패턴이 완전히 밀착하여 비증착영역으로의 증착 물질이 침투하는 결함을 방지할 수 있다.