일반기술

유기물 진공 증착 장치

본 기술은, 유기물의 증발 속도를 균일하게 하여 안정적인 유기물 증착을 가능케 하는 유기물 진공 증착 장치에 관한 것이다. 종래의 유기물 진공 증착 장치및 증착 방법에서는, 도가니로부터 증발되는 유기물의 증발량 및 증발속도가 균일화․안정화된 후 셔터부를 회전시켜 상기 도가니 주위의 소정 영역을 진공 챔버 내의 나머지 영역에 대해 개방하는 과정에서, 상기 도가니로부터 증발되는 유기물이 회전 중인 셔터부에 의해 방해를 받게 된다. 이 때문에, 순간적으로 유기물의 증발량 및 증발속도에 급격한 변화가 초래되므로, 안정적인 유기물 증착이 이루어지지 않을 수 있다. 또한, 상기 셔터부가 회전 가능하게 형성되어 있기 때문에 상당한 면적을 차지하여 전체적인 장치의 크기가 불필요하게 커지는 문제점 역시 있다. 본 기술의 목적은, 유기물의 증착 공정 중 유기물의 증발량 및 증발 속도를 항상 균일하게 하여 안정적인 유기물 증착을 가능케 하는 유기물 진공 증착 장치를 제공하기 위한 것이다.본 기술은, 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내의 상부에 배치되는 증착 기판; 상기 증착 기판 하부에서 유기물을 수용하고, 주위에 가열용 열선을 구비하는 하나 이상의 도가니; 상기 증착 기판과 상기 하나 이상의 도가니 사이에 형성되는 개폐 가능한 메인 셔터부; 상기 도가니 상부에 형성되는 유기물 증발량 측정 센서; 상기 도가니 주위의 소정 영역을 둘러싸되, 상기 도가니 주위를 따라 이동하여 상기 소정 영역을 나머지 영역에 대해 개폐 가능하도록 형성되는 셔터부; 및 상기 진공 챔버 내의 배기가스를 배출하는 배기 시스템으로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 불필요한 공정 시간의 지연 없이도, 유기물의 증발량 및 증발속도를 항상 균일하게 유지할 수 있으므로, 안정적인 유기물 증착이 가능해지는 동시에 유기물 증착 공정의 수율 및 양산성이 크게 향상될 수 있다. 또한, 셔터부의 내벽 등에 증착된 유기물이 도가니에 떨어져 도가니의 입구 등을 막는 문제점 역시 크게 줄일 수 있으며, 유기물 진공 증착 장치의 전체적인 크기가 불필요하게 커지는 문제점 역시 해결할 수 있다.