일반기술

기판 이송 장치

본 기술은, 하나의 축으로 회전하면서 기판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 종래의 이송장치는 기판을 파지하는 파지부, 상기 파지부를 수직 상하방으로 이동시키기 위해 길이가 가변되는 조절부 및 상기 조절부와 결합되어 수평방향으로 조절부를 이동시키기 위한 레일부로 이루어진다. 이러한 이송장치는 반도체나 인쇄회로기판과 같이 다양한 기판을 가공하는 공정에서 기판의 이송을 담당하게 된다. 그러나, 이러한 이송장치는 다수의 조절부들이 레일을 따라 이동하기 때문에, 조절부 전체가 구동하는 구조이므로 조절부의 개별적인 독립구동이 불가능하게 된다. 본 기술의 목적은, 독립구동에 의해 기판을 이송시키기 위한 기판 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.본 기술은, 수평 설치되는 고정부; 상기 고정부의 일측에 회전 가능하도록 결합되고 모터의 구동에 의해 결합부분이 회전축이 되어 회전되는 구동부; 상기 구동부와 대응되도록 상기 고정부의 타측에 회전 가능하도록 결합되는 지지부; 및 상기 구동부와 상기 지지부의 상측에 양단이 각각 힌지 결합되어 기판이 안착되는 안착부로 구성되어 있다. 본 기술에 따른 기판 이송 장치는, 개별 구동을 통해 하나의 챔버에서 다른 챔버로 기판을 이동시키는 효과가 있다. 그리고, 이송 장치의 구조를 단순화하여, 제품의 고장을 억제하고 제조 비용을 절감하는 이점이 있다. 특히, 회전체의 회전으로 이송 장치의 설치 장소가 한정되지 않는 이점이 있다.