일반기술

스핀 코팅 장치

본 기술은, 기판을 회전시키면서 코팅시킬 때 발생하는 진동이 보울에 전달되더라도, 이러한 진동이 신속히 흡수되도록 하는 것을 특징으로 하는 오엘이디 제조용 스핀 코팅 장치에 관한 것이다. 종래의 스핀 코팅 장치에서, 스핀들 및 진공척이 고속으로 회전하다 보면 보울에 진동이 전달될 수 있고, 진공척의 회전에 의해 발생하는 와류에 의해 보울에서 진동이 발생할 수 있다. 이러한 보울의 진동은 스핀 코팅 장치와 근접하는 다른 공정장비에도 영향을 줄뿐만 아니라, 보울에서 발생하는 진동이 다시 진공척으로 전달되면 기판에 안정적인 코팅작업이 이루어지지 못하는 문제점이 있다. 본 기술의 목적은, 보울에서 발생하는 진동이 감쇄되도록 하여 안정적인 코팅 작업이 이루어지도록 함을 특징으로 하는 스핀 코팅 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.본 기술은, 모터에 의해 회전되는 스핀들; 상기 스핀들의 상단에 위치하여 기판을 고정시키는 진공척; 상기 스핀들과 상기 진공척을 감싸는 보울; 상기 기판에 코팅액을 분사하는 코팅액 공급노즐; 및 상기 보울의 외주면에 구비되어 진동을 흡수하는 하나 이상의 흡수부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 스핀 코팅 장치는, 장치 구동시 보울에서 발생하는 진동을 효과적으로 감쇄시켜주는 효과가 있다.이러한 진동 감쇄로 인해, 코팅이 되는 기판으로 진동이 전달되지 않아 기판에 균일한 박막을 형성하는 이점이 있다.