일반기술
강유전체박막소자및그제조방법
본 기술은 강유전체 박막소자 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 종래 강유전체 박막소자에 있어서 그 구조가 복잡하며 제조시 강유전체막의 단축방향성장이 어렵고 기판의 후면식각시에 하부전극 또는 강유전체막이 손상되는 문제를 해결하기 위하여 산화물 단결정기판상에 금속산화물로 이루어진 하부전극을 형성하고 이 하부전극상에 강유전체막 금속상부전극을 형성함으로써 강유전체막의 단축방향성장이 가능하게 된다.산화물 단결정기판가, 상화물 단결정기판상의 소정영역에 형성된 금속산화물로 이루어진 하부전극, 하부전극에 형성된 강유전체막 및 강유전체막상에 형성된 금속으로 이루어진 상부전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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