일반기술

오엘이디 소자의 제조 장치

본 기술은 오엘이디 소자의 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 오엘이디 제조에 사용되는 기판의 건조(drying) 및/또는 냉각(cooling)에 사용되는 플레이트나 스핀코팅 장치와 같이 기판을 로딩/언로딩(loading/unloading) 시키면서 공정을 진행하는 모든 장치에 범용적으로 사용될 수 있는 오엘이디 소자의 제조 장치에 관한 것이다. 스핀코터나 건조 또는 냉각 플레이트와 같은 핀홀에 삽입되어져 있는 리프트핀의 상하운동에 의해 기판을 로딩/언로딩 시키는 방식으로 공정을 진행하는 오엘이디 소자의 제조장치에 있어서 는 이러한 리프트핀의 상하운동에 따른 핀홀과의 마찰에 의해 생기는 파티클을 효과적으로 제어할 수 있는 기술의 개발이 필요한 실정이다. 본 기술의 목적은, 핀홀 내에 삽입되어진 리프트핀의 상하운동에 의해 기판을 로딩/언로딩 시키는 방식으로 공정을 수행하는 오엘이디 소자의 제조장치에 있어서 리프트핀의 상하운동 동안에 핀홀과의 마찰에 의해 발생하는 파티클의 발생을 억제할 수 있는 오엘이디 소자의 제조장치를 제공하는데에 있다.본 기술은, 오엘이디 소자의 제조장치는 기판이 로딩되는 플레이트와; 플레이트를 관통하도록 플레이트 내부에 복수개의 핀홀들이 형성되어 있고; 플레이트에는 외부 진공펌프와 연결되어 상기 플레이트 상에 로딩되는 기판을 홀딩시켜 주는 배큠홀이 형성되어 있으며; 핀홀 내부에는 핀홀의 측면과 소정의 이격간격을 두고 기판을 로딩/언로딩 시켜주는 리프트핀들이 형성되어 있으며; 핀홀 주위의 플레이트 내부에는 핀홀을 중심으로 평형을 이루는 자기력을 이용하여 리프트핀들이 핀홀의 측면에 접촉되는 것을 방지하는 전자석;이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. 본 기술의 오엘이디 소자의 제조장치에 의하면 핀홀과 리프트핀 사이에 이격거리를 두고, 핀홀 주위의 공간에 전자석을 설치함으로써 리프트핀의 상하운동시에도 항상 핀홀과 리프트핀이 일정한 거리를 유지할 수 있도록 해줌으로써 핀홀과 리프트핀의 마찰에 의해 생기는 파티클의 발생을 억제할 수 있게 된다.