일반기술

글로브 박스의 분위기 조절장치

본 기술은 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 상에 형성된 유기 전계 발광 소자를 봉지하는 공정에서, 글로브 박스 내의 분위기 변화를 최소화하여 유기 전계 발광 소자 패널의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있는 글로브 박스의 분위기 조절장치에 관한 것이다. 유기 전계 발광 소자를 봉지하는 공정에서, 외부로부터 산소 및 수분이 유입될 수 있기 때문에, 이러한 봉지 공정은 글러브 박스(glove box) 내에서 진행되며, 글러브 박스 내 분위기의 안정적인 유지가 유기 전계 발광 소자의 성능 및 수율에 큰 영향을 미친다. 글러브 박스 내의 분위기, 예를 들어 압력 또는 온도가 변화될 수 있고, 이러한 압력 또는 온도의 변화에 의해 외부의 기체가 유입이 되는 원인이 되어 유기 전계 발광 소자의 수명에 악영향을 미칠 수 있다. 본 기술의 목적은, 유기 전계 발광 소자의 봉지 과정이 진행되는 글러브 박스의 내부 분위기를 안정적으로 관리하여 외부로부터 유입되는 수분 또는 산소를 차단할 수 있는 글로브 박스의 분위기 조절장치를 제공하는데 있다. 본 기술에 따른 글로브 박스의 분위기 조절장치는, 유기 전계 발광 소자의 봉지 과정이 진행되는 글로브 박스; 상기 글로브 박스 외측에 형성되어 상기 글로브 박스 내의 분위기 변화를 감지하는 센서부; 상기 글로브 박스 외측에 형성되어 상기 센서부가 감지하여 전달한 분위기 변화에 따라 상기 글로브 박스 내의 분위기를 조절하는 분위기 제어부; 및 상기 분위기 제어부 및 상기 글로브 박스와 연결되어 있는 압력 조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 글로브 박스의 분위기 조절장치 에 의하면, 글로브 박스 내의 압력 또는 온도와 같은 분위기 변화를 감지할 수 있는 센서부 및 변화한 글로브 박스의 압력 또는 온도를 제어할 수 있는 분위기 제어부를 이용함으로써 글로브 박스 내의 분위기를 최소화할 수 있다. 이에 따라 기판 상에 형성된 유기 전계 발광 소자를 봉지하는 공정을 안정적으로 관리할 수 있다.