일반기술

세정 장치

본 기술은 감광제의 낭비 없이 감광제 분사 노즐을 세정할 수 있는 세정 장치에 관한 것이다. 종래에는 상기 감광제 분사 노즐로 기판 상에 감광제를 분사하기 직전에, 아세톤 등의 용제를 사용해 상기 감광제 분사 노즐의 끝단부를 세정하여 굳은 감광제를 제거하거나, 상기 감광제 분사 노즐이 미사용 상태로 유지되고 있을 때에도 규직척으로 감광제를 분사하여 그 끝단부로부터 감광제가 굳는 것을 방지하는 방법을 사용하였다. 그러나, 아세톤 등의 용제를 사용해 상기 감광제 분사 노즐의 끝단부를 세정하는 수작업을 거치지 않으면 안되므로, 전체적인 공정의 복잡성 및 원가 상승을 초래하였으며, 두 번째 방법 역시 일부의 감광제를 계속적으로 분사함에 따라 감광제의 낭비가 초래되기 때문에 원가 상승을 초래하는 문제점이 있었다. 본 기술은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하여, 공정의 복잡성, 원가 상승 또는 감광제의 낭비 등을 초래하지 않고, 감광제 분사 노즐을 세정할 수 있는 세정 장치를 제공하기 위한 것이다.본 기술은 플레이트; 상기 플레이트 하부에 설치되어 있고, 상기 플레이트를 상․하로 구동하는 실린더; 상기 플레이트 상에 상측을 향하게 형성되어 있고, 상측 끝단부에서 세정액을 분사하는 세정액 분사관; 상기 세정액 분사관과 연결되어 있는 배수관; 및 상기 세정액 분사관에 연결되어 세정액을 공급하는 세정액 공급 배관으로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 별도의 수작업을 진행할 필요없이 감광제 분사 노즐 끝단부에 굳어 있는 일부의 감광제만을 선택적으로 세정, 제거할 수 있는 세정 장치가 제공된다. 따라서, 이러한 세정 장치를 사용해 디스플레이 소자 또는 반도체 소자의 각종 불량을 초래하는 오염원을 크게 줄이면서도, 공정의 복잡성, 원가 상승 또는 감광제의 낭비 등이 초래되는 것을 현저히 줄일 수 있다.