일반기술

공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자

본 기술은 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 자체의 온도측정이 가능해 봉지공정이나 에이징 공정시 기판의 정밀하고도 정확한 온도측정을 함으로써 열에 의한 활성영역의 열화를 방지할 수 있는 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자에 관한 것이다. 오엘이디와 같이 온도에 매우 민감한 소자의 경우엔 임계치(critical point)를 넘어서는 조그만 온도변화에도 열화가 빠르게 일어나기 때문에, 실제 오엘이디 디스플레이 소자 제조공정에 있어서 기판의 온도가 임계치를 넘어서지 않도록 보다 정확하고도 정밀한 측정이 필요하다. 본 기술의 목적은, 오엘이디 디스플레이 소자를 제조하는 공정에 있어서 봉지공정과 에이징 공정시 실제 기판이 받는 온도를 정확하고도 정밀하게 측정할 수 있도록 하는 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자를 제공하는데에 있다.본 기술에 따른 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자는 활성영역과 비활성영역으로 구분되는 기판; 기판의 비활성영역에 접합되어 활성영역 내부를 진공상태로 만들어주는 봉지캡; 및 기판의 비활성영역에 패터닝 되어 형성되는 측온저항체를 포함한다. 본 기술에 따른 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자에 의하면, 오엘이디 디스플레이 소자의 제조공정 중에 있어서 인시츄(in-situ) 공정 단계에서 기판의 정확한 온도 측정이 가능하여 임계점을 넘는 고온에 의한 오엘이디 디스플레이 소자의 활성영역이 산화되거나 열화되는 것을 방지할 수 있게 된다.