일반기술

투과량 측정 장치

본 기술은 두 개 층이 밀봉재로 부착된 구조를 포함하는 소자에서, 상기 밀봉재를 통해 산소 또는 수증기 등의 측정 대상 기체가 투과하는 양을 용이하게 측정할 수 있게 하는 투과량 측정 장치에 관한 것이다. 종래에는 상기 밀봉재를 공급하는 재료 공급 업체에서 밀봉재를 통한 산소 또는 수증기 등의 각종 기체의 투과량을 측정해 그 측정 데이터를 상기 밀봉재와 함께 소자 제조 업체에 제공하는 것이 일반적이었고, 상기 밀봉재가 실제 소자 제조 공정에 적용되었을 때 이러한 밀봉재를 통한 각종 기체의 투과량을 소자 제조 업체에서 별도로 측정할 수는 없었다. 그러나, 상기 밀봉재를 실제 소자 제조 공정에서 적용한 경우, 공정 조건에 따라 상기 밀봉재를 통한 산소 또는 수증기 등의 각종 기체의 투과량은 달라질 수 있으며, 이로 인해, 이러한 각종 기체가 소자의 특성 또는 불량 여부에 영향을 미치는 정도로 달라질 수 있다. 본 기술은 종래 기술의 문제점을 해결하여, 두 개 층이 밀봉재로 부착된 구조를 포함하는 소자에서, 상기 소자에 적용된 밀봉재를 통해 산소 또는 수증기 등의 측정 대상 기체가 투과하는 양을 용이하고 신뢰성 있게 측정할 수 있게 하는 투과량 측정 장치를 제공하기 위한 것이다.본 기술은 시료 챔버; 적어도 두 개 층이 밀봉재로 부착되고 하부층에 기체공이 뚫린 측정 대상 소자가 상면 위에 배치 가능하게 상기 시료 챔버 내에 설치되어 있고, 상기 측정 대상 소자와 대응하는 위치에 관통공을 구비하고 있는 플레이트; 일측단이 상기 관통공과 연결되도록 상기 플레이트의 하면에 설치되어 있고, 타측단이 상기 시료 챔버의 일측벽을 관통하고 있는 배기관; 상기 플레이트의 상면과 상기 측정 대상 소자의 하부층 사이의 공간을 밀봉 가능하게 상기 플레이트의 상면 위에 형성되어 있는 밀봉 부재; 상기 플레이트의 상면 위에 상기 측정 대상 소자를 고정하는 고정 부재; 상기 시료 챔버의 타측벽을 관통하고 있는 기체 유입관; 상기 기체 유입관 및 배기관의 개폐를 각각 조절하는 제 1 및 제 2 밸브; 및 상기 배기관에 연결되어 배출 기체의 압력을 측정하는 센서로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 유기 발광 소자 등의 각종 디스플레이 소자에 실제 적용된 밀봉재를 통하여, 산소 또는 수증기 등의 기체가 어느 정도 투과하는지를 신뢰성 있게 측정할 수 있는 투과도 측정 장치가 제공된다. 이로서, 소자의 특성 또는 불량 여부를 보다 신뢰성 있게 예측하여, 소자의 수율 및 수명 향상에 크게 기여할 수 있다.