일반기술

오엘이디 제조용 압력 표시장치

본 기술은 압력표시장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버와 챔버간에 이송되면서 오엘이디 소자를 제조함에 있어서 챔버 내부의 상대적인 압력 표시가 가능한 오엘이디 제조용 압력 표시장치에 관한 것이다. 종래에는 챔버 내부의 압력을 체크하기 위하여 각각의 챔버에 압력센서를 설치하고, 센서에 의해 감지된 챔버 내부의 압력을 읽어서 챔버 내부의 압력을 인지하는 방식을 이용하였다. 그러나, 이러한 센서에 의한 압력 감지는 센서의 수명이 다하거나 센서의 감지 오차범위가 클 경우 센서를 교체해주거나, 센서를 주기적으로 보정(calibra-tion)해 주어야 하는 불편함이 있다. 본 기술의 목적은, 오엘이디 소자를 제조하기 위한 챔버 내부의 상대압력을 작업자가 실시간으로 모니터링 할 수 있는 오엘이디 제조용 압력 표시장치를 제공하는데에 있다.본 기술에 따른 오엘이디 제조용 압력 표시장치는, 제1 챔버에서 제2 챔버로 이송되면서 오엘이디 소자를 제조하는 공정에 있어서, 측면은 열려있고, 내부는 중심판에 의해 서로 독립되는 제1 공간과 제2 공간으로 나누어져 있는 주름관; 주름관의 양 측면에 끼워져 결합되며, 중앙부위가 뚫려져 있는 프랜지부; 주름관의 일측에 결합된 프랜지부에 연결되어 상기 주름관 내부의 제1 공간과 제1 챔버 내부를 연결시켜 주는 제1 연결관; 주름관의 타측 결합된 프랜지부에 연결되어 주름관 내부의 제2 공간과 상기 제2 챔버 내부를 연결시켜 주는 제2 연결관; 및 주름관과 프랜지부를 케이싱 하는 투명케이스부로 구성되어 있다. 본 기술에 의하면, 챔버와 챔버 간에 이송되면서 오엘이디 공정을 진행함에 있어서 각 챔버 간의 상대적인 압력의 모니터링이 가능해지고, 또한 전자장치나 센서에 의한 방식이 아니라 물리적인 방식에 의한 압력감지 방식이므로 그 재질이 마모 되지 않는 한 반영구적인 사용이 가능한 오엘이디 제조용 압력 표시장치의 제공이 가능해 진다.