일반기술

오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법

본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기물이 아닌 무기물에 의해 격벽(separator)을 형성함으로써 수축(shrinkage) 문제를 해결함과 동시에 매우 간단한 방법으로 격벽을 형성할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법에 관한 것이다. 종래의 오엘이디 디스플레이 소자에서, 노광량과 노광각을 조절해줌으로써 역테이퍼형의 격벽이 완성되게 되는데, 상기한 바와 같은 격벽의 형성방법은 노광량과 노광각이 조금만 달라지더라도 격벽의 측벽각이 쉽게 달라질 수 있고, 미세공정 조절이 어려워 격벽의 측벽에 대한 성형이 용이하지 못하며, 또한 유기물 재료인 포토레지스터에서 용매로 사용된 물질이 가스의 형태로 흘러나와 화소영역이 축소(shrinkage) 되는 불량을 초래하기도 한다. 본 기술의 목적은, 종래에 사용되던 유기물 재료인 포토레지스트와 달리 오직 무기물 만을 이용하여 간단하게 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽을 형성하는 방법을 제공하는데에 있다.본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법은, 기판 상에 식각희생층을 형성하는 단계; 식각희생층과 기판 상에 콘포말하게 하드마스크층을 형성하는 단계; 식각희생층의 상부면의 일부가 노출되도록 하드마스크층을 식각하는 단계; 및 식각희생층의 노출된 상부면 아래로 식각희생층을 등방성 식각을 해주는 단계로 구성되어 있다. 본 기술에 의하면, 종래와 달리 무기물 만을 이용하여 비교적 간단하게 격벽의 형성이 가능해지며, 특히 사용된 재료인 무기물의 특성상 아웃가스가 발생하지 않아 격벽의 수축을 방지할 수 있게 된다.