일반기술

플렉시블열전대

종래의 드로잉아닐법으로 제작한 극세시스열전대의 결점인 소선이 손상을 입어서, 구부려 가공하므로써 열전대의 단선 등을 전무하게 하는 세라믹절연방식을 채택했다. 절연재로써 바닥면에 수직의 소선이 통과하는 2개의 구멍이 있는 직경 0.7mm, 높이 0.5mm의 세라믹원주를 이용한다. 절연재는 고밀도체와 저밀도체의 2종류를 준비하고, 이들을 교대로 배치한다. Ta시스와 소선은, 각각 미리 소정의 길이에 선이 그어진 것을 이용한다. 이처럼 분말이 아니라 구조체로써 핸들링 가능한 절연재를 이용하므로써, 내경 0.7mm의 세관내에도 균일하게 절연재를 배치할 수가 있게 된다. 또한, 구부러짐에 대해서는 저밀도의 절연재가 파괴하므로써 추종한다. 한편으로 0.5mm 간격으로 배치된 고밀도 절연재가 소선을 유지하기 때문에, 저밀도 절연재가 파괴해도 소선이 단락할 위험은 없다.가는 시스경인 경우에도 확실한 절연재의 배치가 가능하기 때문에, 종래와 같이 열전대소선을 연성저하시키는 공정을 취할 필요가 없다. 그 결과, 구부러 가공할 때의 단선의 위험이 적다. 절연부재에 의한 열전대소선의 구속이 적기 때문에, 구부려서 가공할 때의 열전대소선의 길이 변화를 넓은 영역의 확장으로 흡수할 수 있으므로, 단선의 위험이 적다.