일반기술

기판 건조 장치

본 기술은 기판 건조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 세정공정 후 에어(air)에 의해 건조하는 공정에 있어서 에어분사노즐을 통과한 기판이 건조 챔버 외부로 빠져 나가는 과정에 챔버의 벽면에 고여있는 물기의 재낙하에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있는 기판 건조 장치에 관한 것이다. 종래의 기판 건조 장치에서, 판에 대한 건조가 계속되게 되면 탈착(detach)된 액체가 챔버의 내부 벽면에 계속해서 축적되게 되고, 이러한 축적이 계속되면 물방울 형태로 발전하게 되고, 이러한 불방울이 계속 커지게 되면 아래로 재낙하(redrop)하게 된다. 이러한 탈착된 액체의 재낙하는 에어분사노즐을 지나 건조가 완료된 기판의 표면에 떨어질 수도 있으며, 종종 이러한 현상은 실제공정에서도 빈번히 발생하여 후에 평판 디스플레이 완성품을 제조시 화면에 얼룩(spot)이 져서 보이게 되거나, 미세멍(MURA)으로 보이기도 하는 등의 문제점이 있다. 본 기술의 목적은, 세정공정을 거쳐 건조되는 기판에서 떨어져 나간 액체가 건조 장치의 챔버 내벽에 붙어 있다가 세정 및 건조공정을 거쳐 외부로 배출되는 기판에 재낙하하는 것을 방지할 수 있는 기판 건조 장치를 제공하는데에 있다.본 기술에 따른 기판 건조 장치는 챔버; 챔버 내부에 설치되는 기판 이송부; 챔버의 일측에 위치하는 기판 도입구; 기판 이송부를 중심으로 상측과 하측에 각각 설치되며 기판이 기판 이송부에 로딩시엔 기판 양면 방향으로 에어가 분사되고, 기판이 기판 이송부에서 언로딩시엔 챔버의 내벽 방향으로 에어가 분사되도록 에어분사각의 조절이 가능한 에어분사노즐; 및 에어분사노즐의 끝단에 연결되어 에어분사노즐을 회전시키는 스텝모터로 구성되어 있다. 본 기술에 의하면, 기판이 챔버 내부에 장착된 경우엔 에어분사노즐이 기판면을 향해 분사되도록 하고, 기판이 챔버 내부에 장착되지 않은 경우엔 에어분사노즐이 챔버 벽면을 향하도록 해줌으로써, 기판 건조 공정 이외에는 챔버 내부 벽면의 물기를 제거해줄 수 있어 기판 내부 벽면 물기의 재낙하에 의한 기판의 오염을 방지할 수 있게 된다.