일반기술

롯 아이디 마킹용 마스크, 이를 이용한 롯 아이디 마킹장치 및 방법

본 기술은 롯 아이디 마킹에 관한 것이다. 롯 아이디를 패터닝하기 위한 종래의 공정 라인은, 세정 영역 - 레이저 마킹 - 포토 영역의 순으로 구성되어 있다. 여기서, 롯 아이디는 일반적으로 해당 롯을 표시하는 문자와 해당 롯에서의 해당 글래스의 일련번호를 표시하는 문자 및/또는 숫자의 조합으로 구성된다.이와 같이, 종래에는 기판 상에 롯 아이디를 마킹하기 위해서 별도의 장비(레이저 마킹 장치)를 도입해야 했으므로 추가적인 투자가 요구되었으며, 세정 후 레이저 마킹을 하기 위한 별도의 시간이 소요되는 문제가 있었다. 본 기술이 이루고자 하는 기술적 과제는 적은 비용과 시간으로 롯 아이디를 마킹할 수 있는 롯 아이디 마킹용 마스크를 제공하는 데에 있다.본 기술에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법은 투명한 기판 상에 표시소자를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크 하부에 포토레지스트가 도포된 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판을 위치시키는 단계; 표시소자에 롯 아이디를 제공하는 단계; 및 롯 아이디를 제공받아 롯 아이디를 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 마킹하는 단계로 구성되어 있다. 본 기술에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크, 이를 이용한 롯 아이디 마킹 장치 및 방법에 의하면, 롯 아이디를 마킹하기 위한 장비 투자에 많은 비용을 들일 필요가 없어 제조비용을 절감시킬 수 있으며, 또한 여러 공정 과정(세정 - 레이저 마킹 - 포토)을 거칠 필요가 없어 마킹 공정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.