일반기술

마이크로 히터 및 도가니 제조 방법, 그리고 이들을 구비한유기물 진공 증착 장치

본 기술은 유기물 진공 증착 장치에 관한 것이다. 오엘이디 소자를 제작하기 위해서는, 양극과 음극 사이에 발광층 등을 포함하는 발광유기물층을 형성시켜야 하며, 이러한 발광유기물층은 기판 위에 R-G-B 각각의 픽셀(Pixel) 단위로 유기물을 증착하는 공정을 통해 형성된다. 이러한 유기물 증착 시에는 증착 두께가 100~200nm의 박막으로 형성되어야 하기 때문에 핀홀(Pin-Hole)이 없는 균일한 성막이 요구된다. 하지만, 기존의 저항 가열 증착법을 이용해서는 기판을 중심으로 증착원 가운데 부분의 증착 두께는 두껍고, 가장자리 부분의 증착 두께는 얇아지는 문제점이 있다. 본 기술의 목적은, 유기물 증착 공정 시 유기물을 기판에 균일한 두께로 증착시킬 수 있을 뿐만 아니라, 유기물의 대부분이 불필요하게 사용되는 것을 감소시킬 수 있으며, 마스크의 열팽창을 방지하여 정밀한 얼라인먼트가 가능하도록 하는 유기물 진공 증착 장치를 제공하는 데에 있다.본 기술에 따른 유기물 진공 증착 장치는, 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내의 하부에 배치되고, 기판의 픽셀 영역의 크기 및 간격에 상응하는 패턴을 가지며, 그 내부에 유기물이 채워지는 도가니; 상기 패턴의 상면을 제외한 상기 도가니 전면에 형성되며, 상기 도가니를 가열시켜 상기 도가니 내부에 채워진 상기 유기물을 상기 패턴의 상면으로 증발시키기 위한 마이크로 히터; 상기 도가니 상부에 배치되며, 상기 마이크로 히터에 의해 가열되어 증발되는 상기 유기물을 투과시키기 위한 투과부와, 상기 유기물을 차단시키기 위한 차단부로 구성되는 마스크; 및 상기 마이크로 히터가 형성된 상기 도가니 하부에 설치되며, 상기 마스크의 투과부를 통해 증발되는 상기 유기물이 상기 기판의 픽셀 영역에 정확하게 얼라인먼트될 수 있도록 상기 도가니를 정밀하게 시프트시켜 주는 나노 스테이지로 이루어져 있다. 본 기술에 의하면, 유기물 증착 공정 시 유기물을 기판에 균일한 두께로 증착시킬 수 있을 뿐만 아니라, 유기물의 대부분이 불필요하게 사용되는 것을 감소시킬 수 있으며, 마스크의 열팽창을 방지하여 정밀한 얼라인먼트가 가능하도록 하는 효과가 있다.