일반기술

오엘이디 디스플레이 소자의 제조장치

본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자의 제조장치에 관한 것이다. 종래의 디스플레이 소자의 제조 방식은 플레이트의 상부에 로딩되는 기판을 가열시켜 가열된 기판의 온도를 열을 이용하여 기판 상부에 도포된 액체를 휘발시키는 방식으로서 베이킹 시간이 상당이 오래걸리고, 또한 기판의 열에 의한 간접 가열방식이므로 에너지 낭비가 심하고 기판의 열화(degradation)를 초래할 우려가 있었다. 또한, 가열을 위하여 다층의 판들이 사용되는데 기판이 동일한 온도구배를 주기 위하여 가열판의 위치 및 가열판에 내장되는 열선의 배치가 매우 신중히 이루어져야하며 이에 대한 설계 오차시 기판에 발생하는 온도구배로 인하여 기판이 물리적 손상을 입을 수도 있다. 본 기술의 목적은, 종래와 같이 핫플레이트를 이용한 간접 가열방식이 아닌, 직접 가열방식에 의해 베이킹 공정을 수행할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자의 제조장치를 제공하는데에 있다. 본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 제조장치는 베이킹 챔버; 베이킹 챔버의 바닥면 하방에 설치된 모터; 모터에서 연장되는 모터축에 고정된 커플러에 의해 회전하도록 베이킹 챔버의 바닥에 설치되고, 그 내부에는 냉각수 유동통로가 내장되어 있으며 베이킹되는 기판이 로딩되는 냉각판; 및 베이킹 챔버 내부의 측부 또는 상부에 설치되는 전자기파 발생장치로 구성되어 있다. 본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 제조장치에 의하면 다층의 열판으로 진행되는 베이킹 공정을 단순화함으로써 효율적인 라인관리가 가능하고 기판의 열상승을 통한 간접적 베이킹이 아닌 직접적인 베이킹을 실현할 수 있게 된다.