일반기술

기판 이송 장치

본 기술은 기판 이송 장치에 관한 것이다. 종래의 기판 이송 장치에서, 롤러 컨베이어를 이용한 이동 방식의 기판 이송 장치는 챔버 안에서 사용이 불가능하여 증착 공정에서 사용할 수 없는 단점이 있으며, 서보 모터를 이용한 암 이동 방식의 기판 이송 장치는 챔버 안에서 사용할 수는 있지만 회전 반경이 크고 기판을 순차적으로 이동하다보니 연속 작업이 되지 않는 단점이 있으며, 기판을 이동시키는 데 시간이 오래 걸려 생산성 향상에 한계가 있다. 따라서, 챔버 안에서 사용할 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치가 요구되고 있다. 본 기술의 목적은, 챔버 안에서 사용할 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 데에 있다. 본 기술에 따른 기판 이송 장치는, 지지패널, 상기 지지패널과 함께 기판을 파지하는 파지부, 및 상기 파지부가 상기 기판을 파지하도록 상기 파지부를 작동시키는 실린더를 포함하는 홀딩부; 및 상기 기판을 이송하기 위해 상기 홀딩부를 이동시키는 이송부로 구성되어 있다. 상기 이송부는, 베이스; 상기 베이스에 형성되어 상기 홀딩부의 이동 경로를 가이드하는 가이드부; 및 상기 가이드부를 따라 상기 홀딩부를 이동시켜 상기 기판을 이송하는 구동부를 포함할 수 있으며, 또한 상기 홀딩부는 상기 실린더의 구동에 의해 회전하여 상기 파지부를 작동시키는 원판을 더 포함할 수 있다. 본 기술에 따른 기판 이송 장치에 의하면, 챔버 안에서 사용할 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.