일반기술

오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법

본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법에 관한 것이다. 종래의 오엘이디 디스플레이 소자는 역테이퍼형 격벽 사이의 공간에 화소영역이 정의되어 있기 때문에 격벽이 존재하는 공간은 모두 비유효영역, 즉 데드 스페이스(dead space)가 된다. 이와 같은 데드 스페이스가 많아 질수록 실제로 영상정보를 표시하는 영역이 줄어들게 되어 집적도에 한계가 있으며, 전체 화면품질도 떨어지게 되는 문제가 있다. 본 기술의 목적은, 격벽의 상부에 형성된 상부전극층을 콘택홀이 아닌 직접 버스전극과 전기적으로 연결시켜 줌으로써 상부전극층과 버스전극과의 접촉저항을 최소화하여 저저항 배선을 실현할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자를 제공하는데에 있다.본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법은 기판 위에 줄무늬 형상의 복수의 제 1 전극을 형성하는 단계; 제 1 전극이 형성된 기판 전면에 상변환 감광막을 형성하는 단계; 상변환 감광막을 제 1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하는 격자 형태를 띄도록 패터닝하는 단계; 각각의 영역이 제 1 전극과 직교하는 방향으로 평행하게 배열된 복수의 화소 개구부만을 모두 포괄하면서 서로 인접하는 영역은 소정 간격 이격되게 정의된 복수의 영역 중에서, 하나씩 거른 영역의 패터닝 된 상변환 감광막의 일측 테두리 및 상기 패터닝 된 상변환 감광막의 끝부분을 제 1 노광하는 단계; 제 1 노광된 상변환 감광막을 상변환하는 단계; 상변환 감광막의 전면에 일부 깊이까지 제 2 노광하는 단계; 및 제 2 노광된 상변환 감광막을 현상하는 제 1 현상 단계로 구성되어 있다. 본 기술에 의하면 격벽의 상부에 형성된 상부전극층을 콘택홀이 아닌 직접 버스전극과 전기적으로 연결시켜 줌으로써 상부전극층과 버스전극과의 접촉저항을 최소화하여 저저항 배선을 실현할 수 있게 된다.