일반기술

오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성 방법

본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자에 관한 것이다. 오엘이디 소자는 15V 이하의 낮은 전압으로 구동이 가능하고, 다른 디스플레이 소자, 예를 들어, TFT-LCD에 비해 휘도, 시야각 및 소비 전력 등에서 우수한 특성을 나타낸다. 더구나, 유기 발광 소자는 다른 디스플레이 소자에 비해 1㎲의 빠른 응답 속도를 가지기 때문에 동영상 구현이 필수적인 차세대 멀티미디어용 디스플레이에 적합한 소자이다. 종래의 오엘이디 디스플레이 소자는 격벽 형성 시 공정이 복잡할 뿐만 아니라, 포토리소그래피 공정을 통하므로 요구되는 격벽 형상(각도 45도 ~ 60도)과 CD값(격벽 상부 폭 크기)을 구현하기 위한 공정 조건 설정이 필요하고, 절연막과의 부착력이 약해 공정 중 격벽이 떨어져 나가 전극에 미세결함 또는 단락을 유발시키게 되는 문제점이 있다. 본 기술의 목적은, 격벽 형성 공정을 단순화하여 공정 시간을 단축시키며, 절연막과 격벽의 부착력을 향상시켜 격벽이 떨어져 나가는 것을 방지할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성 방법을 제공하는 데에 있다.본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성 방법은, 절연막이 형성된 기판의 상기 절연막 상에 상기 절연막 일부가 노출되도록 포토레지스트패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트패턴 사이의 노출된 상기 절연막 상에 제1 성막패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 성막패턴 상에 제2 성막패턴을 형성하는 단계; 및 상기 포토레지스트패턴을 제거하는 단계로 구성되어 있다. 본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성 방법에 의하면, 격벽 형성 공정을 단순화하여 공정 시간을 단축시키며, 절연막과 격벽의 부착력을 향상시켜 격벽이 떨어져 나가는 것을 방지할 수 있다.