일반기술

컬러 전계 발광 표시 소자 및 그 제작 방법

본 기술은 컬러 전계 발광(EL) 표시소자 및 그 제작방법에 관한 것으로, 특히 투명전극위에 금속보조 전극을 각 화소별로 배치하여 투명전극의 높은 저항으로 인한 알씨 시간지연(RC Time Delay) 문제를 해결함과 동시에, 전기장 발광 표시소자의 콘트라스트를 높이며 컬러 필터를 직접 원 편광판 위에 제작하여 전기장 발광(EL)단위에 봉지하므로써, 주위광이 금속전극에서 반사되어 큰콘트라스트를 내리는 것을 방지하는데 목적이 있다.본 기술을 이용하면 투명전극 위에 금속보조전극을 일정폭으로 각 화소별로 분할되게 제작하므로써, EL의 고집적 표시 및 대화면에서 문제가 되는 투명전극의 알 씨 시간지연 문제를 해결할 수가 있고, 외부에서 입사되는 광과 발광층에서 발생되는 광 중에 화소면과 수직으로 입사되지 않는 광을 흡수하여 콘트라스트를 높일 수 있을 뿐만 아니라, 컬러 필터를 원편광판 위에 직접 제작하여 봉지하므로써, 종래 구조에서 갖는 봉지기능 뿐만 아니라 반사되는 외부광을 흡수하여 콘트라스트가 저하되는 것을 막을 수가 있다.본 기술의 목적은 몰리브덴같은 전기 비저항이 낮은 고융점 금속을 보조전극으로 사용함으로써, EL 소자의 콘트라스트를 향상시킴과 동시에, 알씨 시간지연 문제를 해결할 수 있는 컬러 EL 소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.이를 위해 유리 기판위의 Al 금속전극을 1000~2000Å 두께로 성막하는 공정과, A1 금속박막을 각각의 색 필터에 해당하는 금속전극으로 선택에칭하여 제 1절연층, 발광층, 투명전극을 차례로 스퍼터링 법으로 성막하는 공정과, 투명전극 위에 금속보조전극용 박막을 소정의 두께로 성막하는 공정과, 금속보조전극용 박막을 전극선만 남기고 에칭하는 공정과, 금속보조전극과 필터판 사이에 실리콘 오일을 주입하는 공정으로 이루어짐을 특징으로 한다.