일반기술

박막 EL 표시소자의 제조방법

본 기술은 박막 EL(Electroluminescence) 표시소자에 관한 것으로, 특히, 금속 배면전극의 두께를 균일하게 하며 제2절연충과 금속 배면전극간의 접착성을 양호하게 한 박막 EL 표시소자의 제조방법에 관한 것이다.문명의 발달과 더불어 자동화를 추구하는 분야가 급속히 발전하고 있으며, 이때 인간과 기계와의 중계역할을 하는 분야, 즉, 표시소자에 대한 수요가 매우 증가하고 있는 실정이다.종래의 표시소자로서는 음극선관(CRT)이 거의 모든 표시영역을 점유하고 있으나, 이는 부피가 방대하고 무게가 많이 나간다는 결함을 안고 있기 때문에 경박단소의 특성을 갖는 표시소자가 요구되어오고 있으며, 이들 표시소자중에서 표시성질이 우수하고 소자가 완전 고체 구조를 가지는 발광소자인 EL에 대한 관심이 매우 고조되고 있는 실정이다.본 기술은 종래의 문제점을 해결하여 EL 표시소자의 수명을 연장하고 소자의 구동전압을 낮출수 있는 EL 표시소자를 제공하는데에 그 목적이 있다.목적을 달성하기 위해서, 본 기술은 투명기판 위에 ITO를 도포한 후 습식에칭하여 ITO 투명전극을 선전극으로 형성하는 과정, ITO 투명전극 위에 유전체를 스퍼터링하여 제1절연층을 형성하는 과정, 제1절연층 위에 발광층을 전자빔법으로 증착하는 과정, 발과층 위에 Al2O3 를 스퍼터링법으로 형성하여 제2절연층을 형성하는 과정, 제2절연층 위에 Al을 스퍼터링법으로 증착하여 배면전극을 형성하는 과정으로 이루어지는 박막 EL 표시소자의 제조방법을 제공하고 있다.