일반기술

풀 칼라형 EL소자 및 그 제조방법

본 기술은 EL소자(전계효과 발광소자)에 관하여, 특히 풀 칼라(full color) 재현에 적합하도록 고전압용 박막 트랜지스터 및 적,녹,청색 필터구조를 조합한 풀 칼라형 EL소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.종래의 풀 칼라형 박막 EL소자는 유리기관위에 ITO(Indium Tin Oxide) 투명전극을 증착하고, 광식각법을 이용하여 원하는 폭으로 선에칭하며, 그위에 제1절연층으로서 Y20 3 또 SiON을 전자임 증착법 또는 스퍼터링법을 이용하여 증착한후, 형광체 CaS, ZnS, SrS에 발광 중심으로서, Eu, TbF3 , Ce, X 등을 각각 미량 첨가하고, 적,녹,청의 배열을 리프트 오프(lift-off)법으로 배치하여 발광층을 형성하는데 이때 증착방법은 전자빔 증착법 스퍼터링법을 이용하였으며, 제2절연층은 제1절연층과 동일하게 형성하고 그위에 배면전극인 Al전극을 열증착 또는 스퍼터링법으로 형성한후 광식각법으로 투명전극과 수직이 되도록 선에칭하여 EL소자를 완성하였다.종래 박막 EL소자에 있어서는 풀 칼라화를 실현하기 위해서 형광체를 리프 오프법을 이용하여 적,녹,청 화소를 형성하므로 발광층 자체에 포토레지스트(Photoresist), 디벨로퍼(developer)및 스트리퍼(stripper)등이 직접 접촉하므로 소자의 안정성을 저하시키며, 공정 또한 복잡한 문제점이 있었다.본 기술은 종래의 결함을 해소하기 위하여 창안한 것으로, 종래의 EL소자보다 제조공정이 간단하고 소자의 특성이 향상될 수 있는 풀 칼라형 EL박막소자 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.