일반기술

평면 마이크로 가공 기술을 이용한 적외선 어레이센서 제조 방법

본 기술은 평면마이크로 가공기술을 이용한 적외선 어레이 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판과, 기판의 양측이 접하며 기판과의 사이에 단열을 위해 외부와 접하도록 형성된 공간부를 가지는 지지대와, 지지대의 소정영역에 형성된 다수의 센서로 이루어진 센서부와, 센서부를 제외한 나머지 지지대의 소정부분에 기판과 지지대 사이에 식각용액이 침투되어 기판과 지지대 사이의 물질을 제거하도록 형성된 식각 창을 포함하여 구성되며, 식각창을 사용하여 이를 통해 기판과 지지대 사이의 회생층을 제거하여 두 구조물 사이에 공간을 확보하여 열손실을 최소화함으로써 제조공정을 단순화하여 제조가 용이하며, 공정시간이 단축되고, 열감지 특성이 개선되어 미세한 온도변화도 감지하여 적외선 이미지를 구현할 수 있는 효과가 있다.본 기술의 목적은 평면미세가공기술로 기판과 지지대 사이에 공간부를 형성하여 기판식각공정없이 단열을 할 수 있는 평면마이크로 가공기술을 이용한 적외선 어레이 센서의 제조방법을 제공하는 것이다.이를 위해 기판 상부의 소정영역에 희생층을 형성하는 공정과, 희생층 상부 전면과 희생층이 형성되지 않는 기판 상부 일부분에 걸쳐 상부에 센서를 지지하기 위한 지지대를 형성하는 공정과, 지지대 상부에 다수개의 센서부를 형성하는 공정과, 센서부가 형성되지 않은 지지대의 나머지 부분에 식각창을 형성하고 식각창을 통해 희생층을 식각용액으로 제거하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.