일반기술

마이크로 웨이브 오븐

본 기술은 음식물 온도 검출센서에 관한 것으로, 음식물에 직접 온도센서를 접촉시킬 경우 사용자에게 혐오감을 주게되며, 위생적이고, 조작 간편화의 측면에서도 문제가 따르게 된다. 따라서, 음식물의 온도를 리모트(Remote)센싱하는 방법이 요구되는데, 그 한예가 초전형 적외선센서(Pyroelectric Infrared Sensor)를 이용한 검지방법이다. 그런, 초전형 적외선 센서를 이용할 경우 연속적 온도 검지를 위해서는 분극(Polarization)을 위한 기계적으로 구동하는 초퍼(Chopper)가 필요하게 되므로 복잡한 구조를 갖게되며 이에따른 단가 상승으로 인해 실용화에 적용하기 어려운 문제점이 있었다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 혹체의 우수한 열흡수특성을 이용하여 음식물 흑은 음식물을 싸고 있는 랩에서 방출되는 복사열을 검지해 음식물의 온도변화 양상을 검출해 냄에 따라 보다 정확한 조리제어를 가능하게 하고, 해동이나 데우기와 같은 끓는점 이하에서의 조리시 오동작을 방지토록 하는 음식물 온도 감지센서를 제공하는 것이다.본 기술은 흑체의 우수한 열흡수특성을 이용하여 음식물 혹은 음식물을 싸고 있는 랩에서 방출되는 복사열을 검지해 음식물의 온도변화 양상을 검출해 냄에 따라 보다 정확한 조리제어를 가능하게 하고, 해동이나 데우기와 같은 끓는점 이하에서의 조리시 오동작을 방지토록 하는 마이크로 웨이브 오븐을 제공함에 목적이 있다.이를 위해 멤브레인구조를 갖는 기판상에 질화실리콘과 제1절연층을 형성하고, 절연층위에 열전쌍을 이루는 제1열전소자와 제2열소전소자를 형성하는 동시에 그 절연층위의 가장자리에 금속박막을 이용하여 저항변화형의 온도센서를 형성하며, 소자전면에 제2절연층을 형성하고, 멤브레인영역의 제2열층위에 흑체를 형성하여 음식물 온도검출센서를 구성하고, 이를 마이크로 웨이브 오븐에 적용한다