일반기술
스테이지 가동 지지장치
과거 반도체 제조장치, 검사장치, 정밀기계 등에 사용되어 왔던 스테이지 가동 지지장치는 공기부상을 이용하여 원활한 이동을 구현해 주었지만 장치 자체의 가격이 높아졌을 뿐만 아니라 컴프레서 등의 부대장치 수도 늘어났으며, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 방법으로서 본 기술이 개발되었다. 비자성체로 제작된 테이퍼 면 부속 외연부를 갖춘 스테이지와 자성유체를 사용하여 자기장의 강도를 조절함으로써 스테이지 자체를 극히 원활하면서도 신속하게 이동시키는 한편, 정확한 위치 또한 유지할 수 있으므로, 높은 정밀도가 요구되는 지지, 안내 또는 구동 등의 동작을 실행하기 위한 스테이지로서 적절하게 활용된다.자성유체의 자기적 부양현상을 유효하게 이용하여 스테이지 자체를 극히 원활하면서도 신속하게 이동/안내시킬 수 있는 동시에, 지정된 위치에 정확하게 지지시켜 줄 수도 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 단위기계 요소부품
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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