일반기술

의료진단용 실리콘 검출기 제조 기술

반도체 Foundry 운영사업 실리콘 공정분야의 byproductor로 의료진단용 실리콘 검출기 제조기술을 개발하여 그 기술을 벤쳐기업에 이전하고자 함.o 반도체공정운영팀에서는 “반도체 Foundry 운영사업'의 byproduct인 Si Process Integration 분야 중에서 청정제조(Clean Process)기술을 개발하여 이를 바탕으로 실리콘 검출기 제조 기술들을 벤쳐업체에 기술이전한 바 있음. o 상기 청정제조 기술을 바탕으로 (주)엘피전자와 공동으로 웨이퍼 선택 및 소자 설계를 보완하고, 반도체공정운영팀에서 추가로 웨이퍼 양면공정 등 핵심공정을 개발하여 의료 진단용 실리콘 검출기 소자제조 기술을 확보하였음. (주)엘피전자에서 이에 대한 시제품 제작 및 제조기술이전을 요청함에 따라 실리콘 청정제조공정 기술을 보완하여 벤처기업에 기술이전할 필요성이 생겼음. o (주)엘피전자에서는 기술이전을 통하여 의료 진단용 실리콘 검출기 제조 기술을 확보하고, 완성 제품을 양산하여 각종 진단용 의료기기에 제조업체에 납품할 예정임. 이번 기술이전을 통하여 산업화가 확대되는 실리콘 검출기 소자에 대한 ETRI의 우수한 소자 및 공정기술을 산업체로 전파시키고, 이에 따른 기술료 수입의 극대화라는 성과를 얻을 수 있음.o 기술전수 대상 (주)엘피전자에서는 각종 의료 진단용 검출기등 관련의 수입이 불가피한 실정으로 본 제품인 실리콘 검출기는 국내에서는 거의 개발 기술이 전무한 상태로 현재까지 일본의 Hamamatsu 또는 미국의 Micron 회사로부터 전량 수입에 의존하고 있는 실정임. 금번 기술이전을 통하여 더욱 개량된 ETRI 실리콘 검출기 제조 기술을 산업체로 전파시킴으로서, 외부적으로는 의료용, 우주용, 군사용, 특수목적 연구용 센서 분야의 수입대체 효과와 관련분야에 대한 기술 성장이 기대되고, 내부적으로는 기술료 수입의 극대화를 도모할 수 있음. ① 소자제작 공정기술 - 의료진단용 실리콘 검출기 소자 구조 및 공정 설계 기술 - 양면 Photolithography 공정 기술 - 양면 공정시 발생하는 Damage 보호 기술 - 양면 공정시 발생하는 절연막 깨짐 방지 기술 - 고 청정 산화막형성을 위한 세정 및 산화막 성장 공정기술 ② 소자 측정 및 분석 기술 - 소자 측정 및 분석 기술