일반기술
복합 레이저 프로세스를 이용한 정밀미세가공
레이저와 플라즈마의 고체 표면에서의 상호작용을 이용함으로써 레이저 광을 투과시키는 재료들도 고속/정밀가공할 수 있도록 한다. 진공 중에 고정시켜 둔 가공할 재료에 이를 투과하는 펄스 레이저 광을 조사한다. 레이저 광은 우선 재료를 투과한 다음 그 배후에 설치된 금속 타겟에 흡수된다. 이에 따라 플라즈마가 생성되며, 이 플라즈마와 레이저 광선이 재료의 뒷면에서 상호작용함으로써 abrasion 가공이 이루어지게 된다.과거의 레이저 abrasion 가공과 같이 자외선 레이저를 이용할 필요가 없으며, 가시광선 레이 유리재료의 정밀미세가공, 고속 구멍뚫기 가공 등을 할 수 있게 됨으로써 양호한 가공특성을 얻을 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 자동화 기술
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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